KT-Z165M4LT精巧型(xing)真空腔體(ti)測(ce)試(shi)腔主要用(yong)于氣體(ti)敏感(gan)(gan)材料或其他對環(huan)境敏感(gan)(gan)性(xing)材料中的(de)電信(xin)號測(ce)試(shi)。測(ce)試(shi)腔體(ti)內部裝有不銹(xiu)鋼加熱(re)承載臺(tai)(tai)，臺(tai)(tai)面為φ30，臺(tai)(tai)面最高可(ke)升(sheng)溫到最高400℃。臺(tai)(tai)面四周裝有微型(xing)3軸(zhou)可(ke)移動鎢鋼探針，特(te)別(bie)適(shi)合微小未封裝的(de)叉指電極等傳感(gan)(gan)器測(ce)試(shi)。

     該腔(qiang)體(ti)設計有進氣口和(he)抽真(zhen)空接(jie)(jie)口其真(zhen)空度用(yong)(yong)機(ji)械(xie)泵(beng)可(ke)達(da)＜5Pa分子泵(beng)可(ke)達(da)＜-3Pa。真(zhen)空信(xin)號連接(jie)(jie)處(chu)使(shi)用(yong)(yong)真(zhen)空電極(ji)信(xin)號接(jie)(jie)頭，保證氣密性及(ji)抗干擾性能。使(shi)用(yong)(yong)時(shi)將需將待(dai)檢測的(de)器件方在加熱臺面，探(tan)針(zhen)頂尖處(chu)由3軸可(ke)移(yi)(yi)動探(tan)針(zhen)手動調節移(yi)(yi)動至被(bei)測試器件的(de)引腳處(chu)，外(wai)部信(xin)號線連接(jie)(jie)測試儀器來測試電學信(xin)號。