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產品簡介
微型真空(kong)探針臺設(she)計(ji)有進氣口和抽(chou)真空(kong)接口其真空(kong)度(du)用機(ji)械泵可(ke)達(da)＜5Pa分子泵可(ke)達(da)＜-3Pa。真空(kong)信號(hao)連接處使(shi)用高級真空(kong)電(dian)極信號(hao)接頭，保(bao)證氣密性(xing)及抗(kang)干擾性(xing)能。使(shi)用時將(jiang)需將(jiang)待檢測(ce)(ce)的器件方在加(jia)熱臺面，探針尖處由3軸可(ke)移(yi)(yi)動(dong)探針手動(dong)調節移(yi)(yi)動(dong)至被(bei)測(ce)(ce)試(shi)器件的引腳處，外部信號(hao)線(xian)連接測(ce)(ce)試(shi)儀器來(lai)測(ce)(ce)試(shi)電(dian)學信號(hao)。
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一、應用領域：東北供應微型真空探針臺主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。
二、作用(yong)原理：有進氣口和抽真(zhen)空(kong)(kong)接(jie)口其真(zhen)空(kong)(kong)度用(yong)機(ji)械泵可達(da)＜5Pa分子泵可達(da)＜-3Pa。真(zhen)空(kong)(kong)信號(hao)連接(jie)處使用(yong)高級真(zhen)空(kong)(kong)電極信號(hao)接(jie)頭(tou)，保證(zheng)氣密性及抗干擾性能(neng)。使用(yong)時將需將待(dai)檢(jian)測(ce)的器件(jian)方在加(jia)熱(re)臺(tai)面，探針(zhen)(zhen)尖處由3軸可移(yi)動(dong)(dong)探針(zhen)(zhen)手動(dong)(dong)調節移(yi)動(dong)(dong)至被測(ce)試器件(jian)的引腳處，外部信號(hao)線連接(jie)測(ce)試儀器來(lai)測(ce)試電學信號(hao)。
三、微型真空探針臺技術參數：
| 溫控(kong)器 | |
| 加熱溫度 | 35-400℃ 注意：熱(re)臺溫度和(he)樣(yang)品溫度存在(zai)偏差(cha) 客戶可用PT100熱(re)電(dian)阻貼在(zai)和(he)樣(yang)品接近(jin)的樣(yang)品臺面測(ce)量熱(re)電(dian)阻值對應分度值做(zuo)校準。 |
| 溫控誤差(cha) | ±1℃ |
| 熱電(dian)偶類型 | PT100高精度傳感器 |
| 溫控表 | 宇電(dian)PID溫(wen)控器 |
| 程序(xu)控溫 | 1段(duan)（可選30段(duan)程序控溫表） |
| 加熱功率 | ≤300W |
| 加熱(re)電源 | AC220v |
| 尺寸 | 230x230x125MM |
| 重量 | 6kg |
| 真空探針熱(re)臺(tai) | |
| 腔(qiang)體材質 | 304不銹鋼 |
| 加(jia)工方式 | 一體(ti)式CNC精加工(gong) |
| 內(nei)腔體(ti)尺(chi)寸 | 137X57X21mm 容積165ML |
| 加(jia)熱臺尺寸 | Φ35mm |
| 觀察窗內徑 | Φ45mm |
| 觀(guan)察窗材質 | 高透光石英玻璃 |
| 信(xin)號(hao)輸出頭 | SMA母頭(tou) 配(pei)線 SMA轉BNC 1.5米 |
| 電(dian)學性(xing)能(neng) | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介(jie)質(zhi)耐壓 ≤500V |
| 抽氣口 | KF16 |
| 進氣口 | 6MM卡套 |
| 使用正(zheng)壓 | ≤O.05MPa |
| 使(shi)用負(fu)壓 | 機械(xie)泵(beng)可獲得真空≤10Pa 分子泵(beng)可獲得真空≤10 -3 Pa |
| 可(ke)擴(kuo)展配件 | 氣體液體注射口(kou) 4芯電信號接頭 8芯電(dian)信號接頭 SMA905 光纖(xian)接口 擴(kuo)展5KV高壓電極 升(sheng)級30段控溫儀表 |
| 移動探針 | |
| 探針規格 | 探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm |
| 上下移(yi)動距離 | 2.5mm |
| 前后移動(dong)距離(li) | ±10mm |
| 左右旋轉距離 | 120° |
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