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產品簡介
小型(xing)濺(jian)射儀鄭州科探KT-Z1650PVD，能夠在非導(dao)電或導(dao)電不良的(de)樣品上涂布(bu)金（Au），鈀（Pd），鉑(bo)（Pt）和(he)金/鈀（Au / Pd）的(de)薄(bo)膜。 在較(jiao)短時間內即(ji)可形成具(ju)有細(xi)粒(li)度的(de)均勻薄(bo)膜，使樣品適用于掃描(miao)電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結構(gou)緊湊，全自動控制，設計符合人體工程學，所得結果一致，可重復性(xing)高。
| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求氣體 |
|---|---|---|---|
| 樣品臺尺寸 | φ50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
| 樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm |
| 靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 | 價格區間 | 1-5萬 |
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,電子 |
一(yi)、公(gong)司背景介紹(shao)：
（1）鄭州(zhou)科探儀器設備是高質量定制(zhi)(zhi)物(wu)理(li)氣相沉積(ji)（PVD）系統(tong)的設計者和(he)制(zhi)(zhi)造商(shang)，客戶服務(wu)和(he)售(shou)后服務(wu)出(chu)色。擁有(you)7年以上真(zhen)空(kong)和(he)薄膜沉積(ji)技術經驗。其研(yan)發團隊在學界科學家和(he)工程(cheng)師的支持下，高度(du)積(ji)極(ji)地開發新設計以滿足客戶的特殊要(yao)求。
（2）鄭(zheng)科(ke)探的工程團隊設計和(he)制(zhi)造的組件符合高質(zhi)量標準。KT-Z1650PVD真空鍍膜機已通過分銷(xiao)商銷(xiao)往許多大學和(he)研究中(zhong)心，并得到(dao)了很好的參考和(he)反饋。
二、儀器描述：小型濺射儀鄭州科探KT-Z1650PVD，能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金（Au），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au/Pd）的薄膜。在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜，使樣品適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結構緊湊，全自動控制，設計符合人體工程學，所得結果一致，可重復性高。
三、產品特點：
彩色觸(chu)摸屏(ping)：數據輸(shu)入簡單快速。
通(tong)過觸摸屏中直觀(guan)檢測數(shu)據和曲(qu)線；歷史頁(ye)面可(ke)顯示歷史涂層信息。
可控鍍膜速(su)率，可得到更精細的晶粒結構。
可手動或自動，根據(ju)(ju)時間或根據(ju)(ju)厚度進行濺射。
樣品(pin)(pin)臺(tai)更(geng)換簡單(dan)：標準旋轉樣品(pin)(pin)臺(tai)或選用行星式(shi)旋轉樣品(pin)(pin)臺(tai)。
標(biao)準樣品(pin)臺(tai)高度可調、可傾(qing)斜(xie)、可旋轉；行星式旋轉樣品(pin)臺(tai)為多孔樣品(pin)帶來好的噴金效果。
四、小型濺射儀鄭州科探KT-Z1650PVD廠家供應技術參數：
控制方式 | 7寸人機界面 手動 自動模式(shi)切換(huan)控(kong)制(zhi) |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒(miao)5段可變換功率(lv)及擋板位和樣品速度程(cheng)序 |
功(gong)率(lv) | ≤1000W |
輸出(chu)電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機(ji)械泵 ≤5Pa（5分(fen)(fen)鐘） 分(fen)(fen)子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真(zhen)空 | ≤30Pa |
擋板(ban)類型(xing) | 電(dian)控 |
真空腔室 | 不銹(xiu)鋼(gang)腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 （可安(an)裝φ50基(ji)底） |
樣(yang)品臺(tai)轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品(pin)濺射源調(diao)節(jie)距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍(wei)10E5Pa 1E-1Pa） |
預留(liu)真(zhen)空接口 | KF25抽(chou)氣口 KF16放氣口 6mm卡(ka)套進(jin)氣口 |
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