低溫真空探針臺是(shi)一款為(wei)晶(jing)片、器件(jian)和材料(liao)（薄膜(mo)、納米、石墨烯、電(dian)(dian)子材料(liao)、超導材料(liao)、鐵電(dian)(dian)材料(liao)等）提供真(zhen)空和低溫(wen)測試條件(jian)下進行非破(po)壞性的電(dian)(dian)學表(biao)征和測量(liang)(liang)平臺。可以對材料(liao)或器件(jian)進行電(dian)(dian)學特性測量(liang)(liang)、光電(dian)(dian)特性測量(liang)(liang)、參數測量(liang)(liang)、高阻(zu)測量(liang)(liang)、DC測量(liang)(liang)、RF測量(liang)(liang)和微波特性測量(liang)(liang)，

    低溫真空探針臺廣(guang)泛應用于半導(dao)體工業（芯片(pian)、晶(jing)圓片(pian)、封裝器(qi)件(jian)）、MEMS、超導(dao)、電子學、物理學和材(cai)料學等領域。為了(le)提高系(xi)(xi)統(tong)的(de)(de)實用性，系(xi)(xi)統(tong)還可以(yi)提供3.2K的(de)(de)溫度(du)擴展選件(jian)、振動(dong)隔離裝置、LN2杜(du)瓦、高放大倍(bei)數(shu)的(de)(de)顯微鏡(jing)、分子泵(beng)機(ji)組、熱(re)輻射(she)屏的(de)(de)溫度(du)控制(zhi)裝置、探針臂的(de)(de)光纖電纜、光學樣(yang)品架等選件(jian)。

   KT-Z1604T探針臺主要(yao)應用于傳感(gan)器，半導(dao)體，光(guang)電，集成電路以及封(feng)裝的測(ce)試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測(ce)量(liang)(liang)的研(yan)發，旨(zhi)在確保質量(liang)(liang)及可靠性，并縮減研(yan)發時(shi)間和(he)器件制造工(gong)藝的成本(ben)。

     該探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)的承載(zai)臺(tai)(tai)為60x60不銹鋼(gang)臺(tai)(tai)面(mian)(mian)，臺(tai)(tai)面(mian)(mian)可(ke)升溫(wen)到350℃。真(zhen)空腔體設計有進氣(qi)口和抽真(zhen)空接口。探(tan)針(zhen)(zhen)臂(bei)為X/Y/Z三(san)軸移(yi)(yi)動(dong)，三(san)個(ge)方(fang)(fang)向(xiang)均可(ke)在真(zhen)空環境下(xia)精(jing)密移(yi)(yi)位(wei)調節(jie)(jie)，其中X方(fang)(fang)向(xiang)調節(jie)(jie)范圍：0－30mm；y方(fang)(fang)向(xiang)調節(jie)(jie)范圍：0－20mm；z方(fang)(fang)向(xiang)調節(jie)(jie)范圍：0－20mm；用(yong)戶可(ke)根據需要(yao)自行調節(jie)(jie)。使用(yong)時將需檢測(ce)的器件固定在加熱臺(tai)(tai)上，再微調探(tan)針(zhen)(zhen)支架X/Y/Z 方(fang)(fang)向(xiang)行程，通過顯(xian)微鏡觀察，使探(tan)針(zhen)(zhen)對(dui)準檢測(ce)點(dian)后，即(ji)可(ke)進行檢測(ce)