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微型真空(kong)(kong)探針臺設計有(you)進氣口和抽真空(kong)(kong)接(jie)口其(qi)真空(kong)(kong)度用機械泵可達＜5Pa分(fen)子泵可達＜-3Pa。真空(kong)(kong)信(xin)號(hao)連接(jie)處(chu)使用高級(ji)真空(kong)(kong)電極(ji)信(xin)號(hao)接(jie)頭，保證氣密(mi)性(xing)及(ji)抗(kang)干(gan)擾性(xing)能。使用時將(jiang)(jiang)需(xu)將(jiang)(jiang)待檢測(ce)的器(qi)件方(fang)在加熱臺面，探針尖(jian)處(chu)由3軸(zhou)可移動(dong)探針手(shou)動(dong)調節移動(dong)至被測(ce)試(shi)器(qi)件的引腳(jiao)處(chu)，外(wai)部信(xin)號(hao)線連接(jie)測(ce)試(shi)儀器(qi)來測(ce)試(shi)電學(xue)信(xin)號(hao)。

氣(qi)(qi)體(ti)溫度控制儀(yi)的氣(qi)(qi)體(ti)從腔體(ti)底部向上經(jing)分(fen)布器以氣(qi)(qi)泡形式通(tong)過(guo)液層(ceng)，氣(qi)(qi)相中(zhong)的反應(ying)(ying)物溶入(ru)液相并進行反應(ying)(ying)，氣(qi)(qi)泡的攪拌作(zuo)用(yong)可(ke)使液相充分(fen)混(hun)合。鼓(gu)泡塔結(jie)構簡單，沒有運動部件(jian)，適用(yong)于氣(qi)(qi)體(ti)加(jia)濕(shi)，氣(qi)(qi)液反應(ying)(ying)。

超低溫真(zhen)空半導體(ti)制冷臺(tai)主要用于氣體(ti)敏(min)感材(cai)(cai)料或其(qi)他(ta)對環境敏(min)感性材(cai)(cai)料中的(de)電信號(hao)測試。測試腔體(ti)內部(bu)裝(zhuang)有(you)不銹(xiu)鋼(gang)加(jia)熱承載(zai)臺(tai)，臺(tai)面(mian)為(wei)φ30，臺(tai)面(mian)可(ke)升(sheng)溫到400℃。臺(tai)面(mian)四周裝(zhuang)有(you)微(wei)型(xing)3軸(zhou)可(ke)移動鎢(wu)鋼(gang)探針(zhen)，特別適合微(wei)小未封裝(zhuang)的(de)叉指電極等傳感器測試。

真(zhen)空(kong)加熱(re)腔(qiang)體主(zhu)要用于氣(qi)體敏(min)感材料或其(qi)他對環(huan)境敏(min)感性(xing)材料中(zhong)的(de)電信號測(ce)試。測(ce)試腔(qiang)體內部裝有不銹鋼加熱(re)承載臺，臺面為50x50mm，臺面高可升溫到高350℃。

高低溫(wen)真(zhen)空探針臺KT-Z160T-RL，真(zhen)空高低溫(wen)探針臺系統，使用國際上*溫(wen)度控制(zhi)系統和(he)傳(chuan)感器(qi)，溫(wen)度范圍為77.15K至673.15K（-196攝(she)氏(shi)(shi)度到400攝(she)氏(shi)(shi)度），溫(wen)度穩定性可達0.1K。