一、應用領域：
等離子刻蝕機清洗機用于表面清洗,活化,刻蝕等離子清洗機電源屬于150W13.56MHz的射頻電源。作為一種精密干法清洗設備，主要應用于半導體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。

二、等離子清洗的方式：
（1）常規的(de)清(qing)洗方法不(bu)能*將材料表面(mian)薄(bo)膜去(qu)除(chu)，而(er)會(hui)留下一層(ceng)很薄(bo)的(de)雜質層(ceng)，而(er)且溶(rong)劑清(qing)洗就是這類典型例子。  

（2）等離子清洗器使用就是通過等離子體對材料表面的轟擊，輕柔地和*地對表面擦洗。  

（3）等離子清洗將除去不可見的油膜、微小的銹跡和其它由于用戶接觸室外暴露等等在表面形成的這類污物，而且，等離子清洗不會在表面留下殘余物。

（4）等離子清洗器能夠處理多種類型材料：包括塑料、金屬、陶瓷以及幾何形狀各異的表面。

（5）等離子清洗器的優點在于它不但能清洗掉表面的污物，而且還能增強材料表面的粘附性能。

三、聚(ju)合物清(qing)洗原(yuan)理介紹(shao)：  

①聚(ju)合物的表面清洗  

·等離(li)子(zi)消融(rong)作用通過(guo)高(gao)能的電子(zi)和離(li)子(zi)對(dui)材料表面的轟擊，機(ji)械地去(qu)除污物層。  

·等離子表面清洗可(ke)去(qu)除可(ke)能存在(zai)于某些加工過(guo)的聚合物的污物層(ceng)(ceng)(ceng)，不需要的聚合物表面涂層(ceng)(ceng)(ceng)和(he)弱(ruo)的邊(bian)界層(ceng)(ceng)(ceng)。  

②聚合物的表面重組  

·等離(li)子消融(rong)作用(yong)中使用(yong)的(de)惰性氣體(ti)破壞了聚合物表面的(de)化(hua)學鍵從(cong)而導致聚合物表面自由(you)官能團(tuan)的(de)形(xing)成。  

·聚合(he)物(wu)表面的(de)自(zi)由官(guan)能團重(zhong)新成(cheng)鍵形(xing)成(cheng)原始的(de)聚合(he)物(wu)結構，也能與在相同的(de)聚合(he)物(wu)鏈(lian)上鄰近的(de)自(zi)由官(guan)能團成(cheng)鍵，或與在不同的(de)聚合(he)物(wu)鏈(lian)上附近的(de)自(zi)由官(guan)能團成(cheng)鏈(lian)。  

·聚合物(wu)表(biao)面(mian)結構重組能夠改進表(biao)面(mian)的硬度和化學抗性。  

③聚合物的表(biao)面(mian)改性  

·等離子消融作用破壞了(le)聚合物表面的(de)化學(xue)鍵，從而導致聚合物表面自(zi)由官能團(tuan)的(de)形成(cheng)。  

·基于等(deng)離(li)(li)子過程氣體的化(hua)學(xue)性質，這些表面自由(you)官能(neng)團與等(deng)離(li)(li)子中原子或化(hua)學(xue)基的連(lian)接形成了新的聚合(he)物(wu)功能(neng)組，代替舊的表面聚合(he)物(wu)功能(neng)組。  

·聚合(he)物(wu)表(biao)面改性能夠改變(bian)材料表(biao)面的(de)化學性質，而材料整體性質不會改變(bian)。  

④聚合物的(de)表面鍍膜  

·等離子鍍膜是(shi)通過(guo)過(guo)程氣(qi)體(ti)的聚合作用在材料(liao)基層表面形(xing)成(cheng)一層薄的等離子涂層。  

·如果被使用的生產氣體由復合(he)分子(zi)組成，如：甲(jia)烷、四(si)氟化物、碳，那(nei)么(me)他們在(zai)(zai)(zai)等離(li)子(zi)態將破裂(lie)，形成自由的官(guan)能單體，這些官(guan)能單體將在(zai)(zai)(zai)聚(ju)合(he)物表(biao)面成鍵和(he)重新化合(he)在(zai)(zai)(zai)聚(ju)合(he)物表(biao)面鍍膜。

·這(zhe)種聚合物表面涂層能明顯地(di)改變表面的(de)滲透性和磨擦性。

四、等離子刻蝕機清洗機鄭州科探儀器KT-S2DQX參數：