讀懂流量計關鍵參數

更新時間：2022-04-21

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問：1.質量流(liu)量控(kong)制器，為(wei)什么以(yi)SCCM和(he)SLM為(wei)單位(wei)？

答(da)：從(cong)測量(liang)(liang)原理(li)講，熱式質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)計(ji)是(shi)(shi)通(tong)過利用氣體(ti)(ti)的(de)(de)(de)比熱與密度，采用毛細管溫差量(liang)(liang)熱法(fa)進(jin)行測量(liang)(liang)，流(liu)(liu)量(liang)(liang)控(kong)制器測量(liang)(liang)的(de)(de)(de)就是(shi)(shi)質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)，但顯示出的(de)(de)(de)數值是(shi)(shi)通(tong)用的(de)(de)(de)標(biao)況（101325 Pa; 0℃）體(ti)(ti)積(ji)流(liu)(liu)量(liang)(liang)。由(you)于一(yi)般氣體(ti)(ti)的(de)(de)(de)密度都指標(biao)況下(xia)的(de)(de)(de)密度，因此直接用體(ti)(ti)積(ji)乘以(yi)密度就可以(yi)得到所通(tong)過氣體(ti)(ti)的(de)(de)(de)質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)。SCCM 與 SLM 為體(ti)(ti)積(ji)流(liu)(liu)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)行業標(biao)準單位，代表(biao)(biao)標(biao)況下(xia)的(de)(de)(de)體(ti)(ti)積(ji)流(liu)(liu)量(liang)(liang)。SLM（Standard Liter per Minute）是(shi)(shi)表(biao)(biao)示每(mei)分鐘標(biao)準升(sheng)。SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）是(shi)(shi)表(biao)(biao)示每(mei)分鐘標(biao)準毫升(sheng)。

問(wen)：2.流量控制器對(dui)使用條(tiao)件和環境有什么要求(qiu)？

答：通常情況是環(huan)境溫度，流量規格，壓力根據產(chan)品的型號不(bu)同也有差異。

問：3.內漏與外漏區別是什(shen)么？

答：內漏(lou)是(shi)指氣(qi)體整個氣(qi)路內部(bu)泄漏(lou)，主要是(shi)電磁(ci)調節閥(fa)關不(bu)死造成的；外漏(lou)是(shi)管路中氣(qi)體漏(lou)到氣(qi)路外部(bu)，主要是(shi)接(jie)頭密封不(bu)嚴造成的。

問:4.設定點精(jing)度(du)與(yu)滿量程精(jing)度(du)的區(qu)別是什(shen)么？

答:設定(ding)點(dian)精(jing)度是相(xiang)對于(yu)設定(ding)點(dian)本點(dian)的精(jing)度，滿量(liang)(liang)程精(jing)度是相(xiang)對于(yu)滿量(liang)(liang)程流量(liang)(liang)的精(jing)度。舉例：量(liang)(liang)程為(wei) 100SCCM 的流量(liang)(liang)控(kong)制器，當設定(ding) 50SCCM 時，其設定(ding)點(dian)精(jing)度為(wei)±0.5SCCM，即 50×（±1%）=±0.5SCCM；滿量(liang)(liang)程精(jing)度為(wei) ±1SCCM，即100SCCM×（±1%）=±1SCCM。

問:5.什么是產品響應時(shi)間？

答:當流(liu)量(liang)設(she)定(ding)(ding)點(dian)發(fa)生變(bian)化時(shi)，流(liu)量(liang)控(kong)制(zhi)器(qi)的(de)(de)流(liu)量(liang)穩定(ding)(ding)達到流(liu)量(liang)設(she)定(ding)(ding)點(dian)的(de)(de)一定(ding)(ding)范(fan)圍(wei)內(nei)的(de)(de)最(zui)短(duan)時(shi)間(jian)。響(xiang)(xiang)(xiang)應時(shi)間(jian)又(you)分為(wei)氣特(te)性(xing)(xing)響(xiang)(xiang)(xiang)應時(shi)間(jian)和(he)電特(te)性(xing)(xing)響(xiang)(xiang)(xiang)應時(shi)間(jian)，氣特(te)性(xing)(xing)響(xiang)(xiang)(xiang)應時(shi)間(jian)是指實際流(liu)量(liang)達到設(she)定(ding)(ding)值(zhi)所需(xu)的(de)(de)時(shi)間(jian)，電特(te)性(xing)(xing)響(xiang)(xiang)(xiang)應時(shi)間(jian)是指流(liu)量(liang)控(kong)制(zhi)器(qi)的(de)(de)輸出信號(hao)達到設(she)定(ding)(ding)值(zhi)所需(xu)時(shi)間(jian)，一般來說氣特(te)性(xing)(xing)響(xiang)(xiang)(xiang)應要快于電特(te)性(xing)(xing)響(xiang)(xiang)(xiang)應。