KT-1650PVD小型(xing)濺射儀使(shi)用指南

1、 所需配套設(she)備(bei)：小型濺射儀，水冷機，真空泵，高純氬氣

2、 配套(tao)設備安裝準備工作

水冷機： （此設備(bei)(bei)為選配(pei)配(pei)件(jian)）本公司配(pei)備(bei)(bei)水冷機型(xing)號 JZ-3000.進出(chu)水口接 口為 6mm 快插接頭，配(pei)套(tao) 6 米(mi)透明(ming) PU 管(guan)，外徑 6mm 內徑 4mm 加(jia)水 6 升。建(jian) 議加(jia)入純水、去離(li)子水，如沒(mei)有條(tiao)件(jian)加(jia)入自(zi)來水也可。

若自(zi)行準備水冷機，請匹配合適接頭

安裝方法(fa)：將設(she)備(bei)背面(mian)進(jin)(jin)出(chu)水口(kou)連接設(she)備(bei)背面(mian)進(jin)(jin)水口(kou)，公司(si)標配 6m 透明(ming) PU 管， 可(ke)根據現場實際情(qing)況進(jin)(jin)行裁剪。（設(she)備(bei)背面(mian)接口(kou)無進(jin)(jin)出(chu)水口(kou)之分，可(ke)任意(yi)接）

真空泵：（此設備為選配(pei)配(pei)件(jian)）本公司所(suo)配(pei)備的是 8m3/h（2.2L/s），KF25 標準接口，及 1200mm 長(chang)波紋管。

若自行配(pei)備真空泵，請匹配(pei)合適大小接頭(tou)及波紋管

安裝(zhuang)步驟(zou)

把(ba)加(jia)(jia)油(you)口打開(kai)，并(bing)將隨(sui)貨(huo)的一壺油(you)全部倒入加(jia)(jia)油(you)口（油(you)量會(hui)超過(guo)最(zui)高刻度，屬正(zheng) 常現(xian)象），將出(chu)氣(qi)口打開(kai)，可(ke)根據現(xian)場實際情況自行安裝油(you)霧(wu)過(guo)濾器或者出(chu)氣(qi)管道(dao)排(pai)到室外 或者通風(feng)櫥。注：出(chu)氣(qi)口需保持暢通狀態(tai)，不可(ke)堵塞(sai) 進氣(qi)口連接(jie)波(bo)紋管，與濺射儀左側真(zhen)空擋(dang)板閥連接(jie)。

高純氬氣：小型濺射儀工(gong)作中需(xu)要(yao)用到高(gao)純氬氣，所以需(xu)要(yao)自行準備(bei)高(gao)純 氬氣。本(ben)公司配備(bei)的(de)管道(dao)為(wei)外徑 6mm 內徑 4mm 聚四氟(fu)管道(dao)，請匹配合適(shi)的(de)減 壓閥及進氣接(jie)頭(tou)。設(she)備(bei)進氣壓力為(wei)不大(da)于 0.1MPa。

設(she)備安裝及準(zhun)備工作(zuo)：

將白色聚四氟管(guan)道如(ru)上圖(tu)安裝至設(she)備背面進氣(qi)口，并(bing)用扳手鎖緊

配件安裝：

靶材：直(zhi)徑 2 英寸，厚度(du) 0.3mm-3mm

靶材的安裝：

先分別取下屏蔽(bi)罩(zhao)、靶材(cai)(cai)壓(ya)(ya)環(huan)、靶材(cai)(cai)，將需要的靶材(cai)(cai)和(he)靶材(cai)(cai)壓(ya)(ya)環(huan)緊(jin)緊(jin)貼(tie)住， 用 3 顆螺絲(si)錯開鎖緊(jin)壓(ya)(ya)環(huan)，擰上(shang)屏蔽(bi)罩(zhao)。屏蔽(bi)罩(zhao)距離靶材(cai)(cai)壓(ya)(ya)環(huan)距離 3mm 左(zuo)右，

不(bu)可將屏蔽罩與(yu)靶材(cai)壓環接觸，以免造(zao)成設備短路

安裝基底：

分(fen)別取下玻(bo)璃罩(zhao)(zhao)和樣品臺，將襯底(di)固(gu)(gu)定到樣品臺上(shang)，固(gu)(gu)定好的樣品水平放置在基底(di)座上(shang)面，并且三個(ge)齒輪要(yao)相互咬(yao)合，最后放好玻(bo)璃罩(zhao)(zhao)，蓋好上(shang)蓋。

使用前檢查：

1、檢(jian)(jian)查水(shui)(shui)箱(xiang)里(li)面(mian)是(shi)否有(you)水(shui)(shui)打開冷水(shui)(shui)機電(dian)源，檢(jian)(jian)查水(shui)(shui)冷接(jie)口(kou)是(shi)否連(lian)接(jie)好，觀察有(you)沒有(you)漏水(shui)(shui)的(de)現象 （正常(chang)情況不漏水(shui)(shui)一(yi)個月(yue)檢(jian)(jian)查一(yi)次）

2、真空泵的(de)油箱值(zhi)是否在(zai) min 和 max 之間（油有(you)沒(mei)有(you)發黃，發黃說(shuo)明(ming)油有(you)雜質需要(yao)剛換），

3、氬氣壓力值是否在 0.1MPa 以下，

4、打(da)開濺射儀電源，點擊擋(dang)板打(da)開按鍵，觀察腔體內樣(yang)品臺是否旋轉順暢，如有卡(ka)頓及時按下擋(dang)板復位按鍵。

    濺射流程： 濺射操作前(qian)一(yi)定要打開水冷

順時針關閉氣體(ti)調節閥(fa)(fa)和放氣閥(fa)(fa)，旋轉(zhuan)真空泵手柄至最大值(zhi)，打開(kai)真空泵開(kai)關，視線關注觸摸(mo)屏上的真空度是否(fou)有變(bian)化，如果無變(bian)化，將(jiang)手往(wang)下壓(ya)住腔體(ti)密 封(feng)上蓋（不要用(yong)力(li)過(guo)大），再(zai)查(cha)看真空度直(zhi)到(dao)下降至 2Pa 以下，旋鈕氣體(ti)調節閥(fa)(fa) 到(dao)穩(wen)定到(dao) 4Pa 左(zuo)右，并保(bao)持 5 分(fen)鐘(zhong)使腔體(ti)內部充滿氬氣，開(kai)始濺射。

    手動模式：設置(zhi)(zhi)樣品臺轉(zhuan)速在 0-8r/min，若不需要旋轉(zhuan)可設置(zhi)(zhi)為 0，點(dian)擊擋(dang)板(ban)復位按鈕(niu)，使擋(dang)板(ban)遮擋(dang)基底。設置(zhi)(zhi)濺射(she)電流，時(shi)間需要自(zi)己計時(shi)，濺射(she)完成(cheng)后(hou)，點(dian)擊停止(zhi)運行，并點(dian)擊擋(dang)板(ban)停止(zhi)旋轉(zhuan)（此時(shi)不需要擋(dang)板(ban)復位）。如果想(xiang)自(zi)己探索(suo)

濺射速率，及時記下濺射電(dian)流、電(dian)壓、功率和時間。

    自動模式：預(yu)濺射 1：清除靶材上的雜質。預(yu)濺射 2：升溫，穩定電(dian)流(liu) 設(she)置預(yu)濺射時間(jian)和(he)電(dian)流(liu)（T1 和(he) T2），然后設(she)置沉積的時間(jian)和(he)電(dian)流(liu)（T3）

濺(jian)(jian)射(she)電流根據靶(ba)材不(bu)同設置電流不(bu)同，觀察(cha)濺(jian)(jian)射(she)電壓和濺(jian)(jian)射(she)功(gong)率的值，濺(jian)(jian)射(she) 電壓通(tong)常在(zai) 315V 以(yi)上，最好濺(jian)(jian)射(she)效果在(zai) 330V-340V 范圍內。（若電壓上不(bu)去(qu)，

可將(jiang)靶(ba)材(cai)拆下(xia)，用(yong)細砂紙打磨靶(ba)材(cai)背面和(he)濺(jian)射靶(ba)材(cai)座(zuo)，使他們良好接觸（時間長

會氧化））

界面操(cao)作完成后，先關(guan)閉氣(qi)體調節閥和真(zhen)空泵手柄(bing)，再逆時(shi)針旋轉放氣(qi)閥，平衡(heng)內外氣(qi)壓，打開玻璃罩上蓋，取出樣品(pin)臺，拿下樣品(pin)。關(guan)閉水源(yuan)、真(zhen)空泵、濺射儀，最(zui)后關(guan)閉電源(yuan)總開關(guan)。