真空度顯示：顯(xian)示腔體內部的真(zhen)空(kong)度數值(zhi)

運(yun)行程序段(duan)：分為3個步驟，綠色表示運行狀態

①真(zhen)空泵啟(qi)動②射頻(pin)電源打開③放氣

進氣流(liu)量顯(xian)示：通過調節A、B流量調節閥調節氣體進入腔體的大小，在兩個圖標顯示，上部顯示為A流量，下部顯示為B流量

時(shi)間：顯示設備(bei)清洗時間

功率:顯(xian)示當前設備清洗是(shi)清洗功率

設備溫度：顯示(shi)當前射(she)頻電(dian)源設備(bei)溫度

放氣(qi)狀態：顯示當前放氣閥(fa)開啟或關閉狀態

清洗時間：點擊可設置(zhi)設備運行(xing)清(qing)洗(xi)時(shi)間(jian)

清洗功率：點擊可設(she)置設(she)備運(yun)行清洗功率

開始運行：點(dian)擊可(ke)切換設備開始運行(xing)或者停止運行(xing)

參數(shu)設置：非(fei)專(zhuan)業人(ren)士請(qing)勿調節，如(ru)有需(xu)要請(qing)聯系廠家人(ren)員

射頻電源開關：按下產品前面板左邊的電源按鈕  此時產品通電啟動 液晶顯示屏點亮， 顯示啟動界面 2 秒，然后進入相應工作狀態顯示界面。在按一下則關閉射頻電源。

功率調節旋鈕：射頻功率調節，通過旋轉前(qian)面板上的功率設置旋鈕來(lai)增加(jia)或減(jian)小功率水平（順(shun)時針 旋轉為增加功率，逆時針旋轉為減小功率）。

射頻輸(shu)出的開啟和關閉：按下前面板上的射頻輸出 開【藍(lan)色按鈕】 打開射頻輸出，同時定時器開始倒計時； 按下射頻輸出 關【紅色按鈕】 關閉射頻輸出。

調節功率設置(zhi)旋鈕：顯示內(nei)容“Wf"前的數值會發生相應的變化，此 時的數值為功率設定值；當按下射頻輸(shu)出 開【藍色按鈕】開啟射頻時，“RF OFF"將變成“Wr"，Wf 前的數(shu)值也會從 0 上升，當然 Wr 前的數值也會根據負載情況發生相應的變化,如果射頻電(dian)源的后端負載為 50 歐時，Wr 前的數值將為 0，即此時射頻(pin)輸出無反射功率；否則，Wr 前數值將根據負載(zai)情況顯示相應的反射功率值。

手(shou)動匹(pi)配器：通過調節前面板上的【MATCH】控制區的【TUNE】和【LOAD】旋鈕實現匹配器的手 動匹配，反射功率減低到 0W。

【MATCH】控制             【最大反(fan)射】指示                      【手動匹配】指示

 手動調節【TUNE】和【LOAD】旋鈕 調節【TUNE】旋鈕，如果 Wf 數值增加(jia)，證明調節的百分比方向正確，否則往相反的方向調節；到 Wf 數值(zhi)到達設置最大值，通過微調兩(liang)個旋鈕，實現 Wr 數值減低； b．調節【LOAD】旋鈕的方法同理。（通過兩個旋鈕調節觀察Wf值根據旋鈕調節變大  Wr值根據旋鈕調節變小）

2、軟件(jian)語言選擇

按下前(qian)面板上的【MENU】鍵進(jin)入主菜單中，通過(guo)前面板(ban)上的【UP】或【DOWN】鍵

選中主菜單中的第 1 項“Lang./語言(yan)"并按下【MENU】鍵確認，進入子菜單選中“English"

或“中(zhong)文"并按【MENU】鍵確認即可切(qie)換相(xiang)應的語言