;                                  鄭科探小型濺射(she)儀功(gong)能優勢

1、樣品(pin)臺旋轉，多樣品(pin)同時鍍膜時，鍍膜厚度(du)比(bi)較均勻。

2、預濺射擋板功能，剛開(kai)始鍍膜的(de)時候腔室里會有(you)些雜質(zhi)，擋板可以(yi)保護(hu)樣品，提高薄膜質(zhi)量

3、帶有水冷(leng)系統，可以(yi)長時間(jian)濺射鍍膜，厚度可達1微米以(yi)上。

4、直流磁(ci)控濺射(she)(she)，提高附(fu)著力(li)，濺射(she)(she)速率快(kuai)，比離子濺射(she)(she)快(kuai)上一個量級。針(zhen)對(dui)某些金屬最快(kuai)能(neng)達到1-2納米每秒，

5、不但(dan)可以電鏡制樣，還可以制作金屬電極(ji)。

6、可擴展膜厚監測，監測薄膜厚度。

濺(jian)射儀使用需注(zhu)

1 靶材需要良好的導電性, 如果具備這(zhe)個條件  可以鍍(du)    

2 遇到容(rong)易氧化的(de)金屬(shu)(shu) 需要(yao)配備(bei)分子泵把(ba)本(ben)底真(zhen)空抽到1E-3Pa 放氬氣維持真(zhen)空到1Pa左右鍍膜(mo)的(de)金屬(shu)(shu)接近本(ben)色