1. 電感(gan)耦合（Inductively Coupled Plasma, ICP）：

電(dian)(dian)感耦(ou)(ou)合等(deng)離(li)(li)(li)子(zi)體(ti)(ti)是通(tong)過高(gao)(gao)(gao)頻(pin)(pin)磁場(chang)與等(deng)離(li)(li)(li)子(zi)體(ti)(ti)的(de)相互(hu)作用(yong)來傳遞能量的(de)。在電(dian)(dian)感耦(ou)(ou)合的(de)過程中，高(gao)(gao)(gao)頻(pin)(pin)電(dian)(dian)流(liu)(liu)通(tong)過螺(luo)線管產生(sheng)高(gao)(gao)(gao)頻(pin)(pin)磁場(chang)，高(gao)(gao)(gao)頻(pin)(pin)磁場(chang)切割等(deng)離(li)(li)(li)子(zi)體(ti)(ti)產生(sheng)渦旋電(dian)(dian)流(liu)(liu)，從而將能量傳遞給等(deng)離(li)(li)(li)子(zi)體(ti)(ti)。這種(zhong)方式的(de)優點是穩(wen)定性好(hao)，能量傳遞高(gao)(gao)(gao)效(xiao)，適(shi)用(yong)于(yu)高(gao)(gao)(gao)密度等(deng)離(li)(li)(li)子(zi)體(ti)(ti)的(de)產生(sheng)，廣泛(fan)應(ying)用(yong)于(yu)材料刻蝕、沉(chen)積(ji)和離(li)(li)(li)子(zi)輔助沉(chen)積(ji)等(deng)領(ling)域。

2. 電(dian)容耦合(he)（Capacitively Coupled Plasma, CCP）：

電(dian)(dian)(dian)容(rong)耦合(he)等(deng)(deng)離(li)(li)子體(ti)是通過交(jiao)變(bian)電(dian)(dian)(dian)場(chang)與等(deng)(deng)離(li)(li)子體(ti)的(de)(de)相互作用(yong)來傳(chuan)遞能(neng)(neng)量的(de)(de)。在電(dian)(dian)(dian)容(rong)耦合(he)的(de)(de)過程中，兩(liang)個電(dian)(dian)(dian)極(ji)之間施(shi)加高頻交(jiao)變(bian)電(dian)(dian)(dian)壓，由于(yu)等(deng)(deng)離(li)(li)子體(ti)與電(dian)(dian)(dian)極(ji)之間的(de)(de)電(dian)(dian)(dian)容(rong)效(xiao)(xiao)應，導致等(deng)(deng)離(li)(li)子體(ti)內部產(chan)生高頻電(dian)(dian)(dian)場(chang)，從而將(jiang)能(neng)(neng)量傳(chuan)遞給(gei)等(deng)(deng)離(li)(li)子體(ti)。這種方(fang)式的(de)(de)優(you)點是結構簡單，能(neng)(neng)量傳(chuan)遞相對低效(xiao)(xiao)，適用(yong)于(yu)低密度的(de)(de)等(deng)(deng)離(li)(li)子體(ti)產(chan)生，常用(yong)于(yu)等(deng)(deng)離(li)(li)子清洗、薄膜沉積等(deng)(deng)應用(yong)場(chang)景。

總結：

電感耦(ou)合(he)(he)和電容耦(ou)合(he)(he)的(de)主要區別(bie)在(zai)于(yu)(yu)(yu)能(neng)量(liang)(liang)傳遞(di)的(de)方式，電感耦(ou)合(he)(he)通過(guo)高頻磁場(chang)傳遞(di)能(neng)量(liang)(liang)，適用于(yu)(yu)(yu)高密度(du)等(deng)離(li)(li)子體；而電容耦(ou)合(he)(he)通過(guo)交(jiao)變電場(chang)傳遞(di)能(neng)量(liang)(liang)，適用于(yu)(yu)(yu)低密度(du)等(deng)離(li)(li)子體。根(gen)據(ju)實際應(ying)用場(chang)景和等(deng)離(li)(li)子體要求，可以選擇不同的(de)能(neng)量(liang)(liang)傳遞(di)方式。