關(guan)于小型濺射儀 小型蒸鍍產(chan)品知(zhi)識要點(dian)

直流(liu)磁(ci)(ci)控濺射儀(yi)濺射方(fang)(fang)式是調動(dong)靶材內磁(ci)(ci)場(chang)，使金屬(shu)離子轟擊到樣品表面的(de)鍍膜方(fang)(fang)式。目前只能支持金屬(shu)靶材。已(yi)經(jing)測試過的(de)靶材有金、銀、銅(tong)、鉻(ge)、鎳、鋁、以及部分合(he)金(鎳鐵合(he)金)。以下是對一些特殊金屬(shu)鍍膜要求(qiu)

鋁(lv):鍍鋁(lv)推薦使用高真(zhen)空分子泵。

鉻、鎳:靶材厚(hou)度 0. 5mm 左右。

小型蒸(zheng)鍍(du)儀(yi)是通過高(gao)溫(wen)蒸(zheng)發(fa)的(de)方式鍍(du)膜(mo)。支持蒸(zheng)鍍(du)金(jin)屬和(he)有(you)機物(wu)。目(mu)前已測試(shi)的(de)金(jin)屬有(you)金(jin)、銀、銅、鉻、鎳、鋁，有(you)機物(wu)(石蠟)。蒸(zheng)鍍(du)儀(yi)增加(jia)膜(mo)厚監測需要(yao)(yao)用到帶有(you)屏蔽溫(wen)度的(de)陶瓷坩(gan)(gan)堝(guo)(原因是高(gao)溫(wen)會影響膜(mo)厚儀(yi)的(de)測試(shi)結果)。以下是對(dui)一些(xie)特殊金(jin)屬鍍(du)膜(mo)要(yao)(yao)求。鋁:鍍(du)鋁需要(yao)(yao)用到陶瓷坩(gan)(gan)堝(guo)。是因為(wei)鋁高(gao)溫(wen)熔化時(shi)會滲透進鎢(wu)舟，發(fa)生脆性(xing)相，鎢(wu)舟容(rong)易斷裂。

鎳(nie):'熔點(dian)較高(1453°)，需要用鎳(nie)絲纏繞鎢(wu)棒(bang)進行蒸發。同樣會滲(shen)透進鎢(wu)棒(bang)內，使鎢(wu)棒(bang)斷裂(lie)

鉻:熔點較(jiao)高(1850左右(you)°)，需要用(yong)到鉻鎢棒(bang)進行蒸發鍍膜。