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該氣敏測試真空(kong)探針臺(tai)的承片臺(tai)X/Y/Z三個(ge)方(fang)向均可在真空(kong)環境下調節，其中X方(fang)向調節范(fan)圍：0－30mm；y方(fang)向調節范(fan)圍：0－13mm；z方(fang)向調節范(fan)圍：0－13mm；用戶可根據需要(yao)自行調節。使用時將需檢(jian)測的器件固定在加熱臺(tai)上，再微

氧化鋁陶瓷基(ji)底叉(cha)指電(dian)極：線(xian)(xian)寬線(xian)(xian)距可精確控制到5到200μm。鈺芯常(chang)規氧化鋁陶瓷基(ji)底叉(cha)指電(dian)極可耐250°C高溫。具(ju)有(you)高導(dao)熱和高介(jie)電(dian)常(chang)數的特(te)性，經(jing)常(chang)作為傳(chuan)感(gan)器，聲表(biao)面波(bo)(bo)濾波(bo)(bo)器，微波(bo)(bo)射頻等電(dian)信號傳(chuan)輸(shu)核心部件，廣泛應用于移動通(tong)信、醫(yi)療檢測(ce)、環境在線(xian)(xian)監測(ce)等重要領域(yu)。氧化鋁陶瓷基(ji)底叉(cha)指電(dian)極微型探針臺KT-Z4019MRL4T純銀(yin)加熱臺，不易氧化，導(dao)電(dian)性更好，性價(jia)比(bi)高。

鉻金(jin)薄膜(mo)的(de)(de)(de)蒸(zheng)鍍生長。本文所研(yan)究的(de)(de)(de)叉指(zhi)電極結構采用鉻、金(jin)材料制作。首先需要在玻璃襯底上(shang)(shang)生長一層均勻覆蓋的(de)(de)(de)薄膜(mo)。將(jiang)上(shang)(shang)一步工藝過程中清洗好的(de)(de)(de)玻璃片(pian)放入(ru)電子束蒸(zheng)發(fa)鍍膜(mo)機中，抽真空后(hou)(hou)，先蒸(zheng)鍍 50 厚度(du)的(de)(de)(de)鉻金(jin)屬層，再蒸(zheng)鍍1000Å 厚度(du)的(de)(de)(de)金(jin)層，后(hou)(hou)升(sheng)溫到 300℃進行熱處理以(yi)增強鉻金(jin)層的(de)(de)(de)黏附性。鉑金(jin)叉指(zhi)電*低(di)溫探針(zhen)臺(tai)是一款專門(men)用于叉指(zhi)電極的(de)(de)(de)經濟型探針(zhen)臺(tai)。

叉(cha)指(zhi)微(wei)(wei)(wei)電極(ji)因其(qi)微(wei)(wei)(wei)小的(de)電極(ji)間距結構可(ke)用于各(ge)種小型(xing)化(hua)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)。對于傳(chuan)(chuan)(chuan)統分(fen)析檢測(ce)，包括(kuo)色譜法(fa)、光譜法(fa)、質(zhi)譜等方法(fa)，大多(duo)都需要昂貴的(de)儀器(qi)和多(duo)種操作步驟(zou)，使得許多(duo)實際問題仍面臨困難。開發高(gao)靈敏度、低成本，小型(xing)化(hua)的(de)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)尤為重要。微(wei)(wei)(wei)電容(rong)單通道叉(cha)指(zhi)電*低溫(wen)(wen)探(tan)針臺KT-Z4019MRL4T是一款專(zhuan)門用于叉(cha)指(zhi)電極(ji)的(de)經濟型(xing)探(tan)針臺。可(ke)高(gao)溫(wen)(wen)400℃低溫(wen)(wen)-196℃ 測(ce)試(shi)噪聲小于5E-13A 可(ke)擴展上下雙透視窗口。