半導體制冷超低溫探針熱臺精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面可升溫到400℃。

    KT-Z165M4RT半導體制冷超低溫探針熱臺主要用(yong)于(yu)氣體(ti)敏感(gan)材料或其(qi)他對環境(jing)敏感(gan)性(xing)材料中(zhong)的(de)(de)電(dian)信號(hao)測試。測試腔體(ti)內部裝(zhuang)有(you)不銹鋼(gang)加熱(re)承載臺，臺面(mian)為φ30，臺面(mian)可(ke)升(sheng)溫到400℃。臺面(mian)四周裝(zhuang)有(you)微型3軸(zhou)可(ke)移動(dong)(dong)(dong)鎢鋼(gang)探(tan)(tan)針(zhen)，特別適合微小未封裝(zhuang)的(de)(de)叉指電(dian)極等傳感(gan)器(qi)測試。該腔體(ti)設計有(you)進氣口和抽真(zhen)空(kong)接口其(qi)真(zhen)空(kong)度用(yong)機械泵可(ke)達＜5Pa分(fen)子泵可(ke)達＜-3Pa。真(zhen)空(kong)信號(hao)連接處(chu)使用(yong)高級真(zhen)空(kong)電(dian)極信號(hao)接頭，保證氣密性(xing)及抗干擾性(xing)能(neng)。使用(yong)時將(jiang)需將(jiang)待檢(jian)測的(de)(de)器(qi)件(jian)方(fang)在加熱(re)臺面(mian)，探(tan)(tan)針(zhen)處(chu)由(you)3軸(zhou)可(ke)移動(dong)(dong)(dong)探(tan)(tan)針(zhen)手動(dong)(dong)(dong)調節移動(dong)(dong)(dong)至被測試器(qi)件(jian)的(de)(de)引腳處(chu)，外部信號(hao)線連接測試儀器(qi)來測試電(dian)學信號(hao)。