液體氣體混合配比器(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)用于對氣體的(de)質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)進行精(jing)密測量(liang)(liang)；質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)控制(zhi)器(qi)(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對氣體的(de)質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)進行精(jing)密測量(liang)(liang)和控制(zhi)。

   它(ta)們在半(ban)導體微電子工(gong)業(ye)、特種(zhong)材料(liao)研制、化學工(gong)業(ye)、石油工(gong)業(ye)、醫藥、環保和真空(kong)等多種(zhong)領(ling)域的科研和生產(chan)中有著重要的應(ying)用。其(qi)典型的應(ying)用場合包括； 電子工(gong)藝設備(bei)，如擴散、氧(yang)化、外(wai)延、CVD、等離子刻蝕(shi)、濺射、離子注入；以及(ji)真空(kong)鍍膜設備(bei)、光纖熔煉、微反(fan)應(ying)裝置、混氣(qi)配氣(qi)系統、毛細管測量、氣(qi)相色譜儀及(ji)其(qi)它(ta)分(fen)析儀器。

概覽

   液體氣體混合配比器(MFC)和氣體質量流量計(MFM)用于對氣體的質量流量進行 精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業、石油工業、醫藥、環 保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括： 集成電路工 藝設備，如外延爐、擴散爐、CVD、等離子刻蝕機、濺射臺、離子注入機； 以及鍍膜設備、 光纖熔煉設備、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣裝置、毛細管測量儀、氣相色譜儀及 其它分析儀器。

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是七星電(dian)(dian)子生產的(de)(de)(de)(de)(de)數(shu)(shu)字型產品(pin)(pin)，為(wei)氣(qi)(qi)體質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)控制、 測量(liang)(liang)提供了高(gao)準確度及高(gao)可(ke)靠性。該型產品(pin)(pin)可(ke)同時支持數(shu)(shu)字信(xin)(xin)號，0~5V 模擬信(xin)(xin)號，4~20mA 或(huo) 0~20mA 模擬信(xin)(xin)號，可(ke)以使用(yong)雙電(dian)(dian)源(yuan)(±8~±16 VDC)或(huo)單電(dian)(dian)源(yuan)(+14~+28 VDC)。支持自動故障(zhang)報警，多氣(qi)(qi)體多量(liang)(liang)程等(deng)功能(neng)。標準開(kai)放的(de)(de)(de)(de)(de)通訊(xun)協議為(wei)客戶自行開(kai)發控制、采(cai)集軟件 提供便利(li)。提供功能(neng)強大的(de)(de)(de)(de)(de)免費客戶端上位機軟件 Digital MFC。CS200-C 與 CS200-D 產品(pin)(pin)所有(you)與氣(qi)(qi)體接觸的(de)(de)(de)(de)(de)表(biao)面(mian)均為(wei)不銹鋼金屬，其中 CS200-C 金屬表(biao)面(mian)符合 SEMI 標準的(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)求。

CS200-A,C,D MFC 默認配置為：
MAC 地址：32；
RS485 通信波特率：19200；
控制方式：0~5V 電壓控制。

更多細節請參考產品附帶光盤中(zhong)的“CS 系列 MFC 通(tong)訊協議"。

標(biao)定

CS200-A,C,D MFC/MFM 可以(yi)按(an)照用戶的要求(qiu)來標(biao)定。如果用戶沒有說明(ming)工(gong)作(zuo)情(qing)況等信息，

則按照標(biao)準(zhun)狀況標(biao)定(ding)。

1、標準狀況

出口壓力：大氣壓
氣體質量流量通常用標準狀態下的體積流量來表示，質量流量單位為：

SCCM：標準毫升/分鐘
SLM：標準升/分鐘
標準狀態：溫度 0°C (273.15K)
                 氣壓：101325Pa (760mm Hg)

在標準狀態下，氣體的密度是一個常數，該密度乘以標準狀態下的體積就是質量數，所以標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。
MFC/MFM 的標準安裝位置為水平安裝，同時為客戶提供垂直(進氣口向上或向下)、平躺及其它位置的安裝，為保證的測量精度，用戶購買時應該說明設備的安裝方式。

2、制造環境

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是(shi)在溫度為 22±2°C的 100 級的凈化(hua)(hua)間內組裝(zhuang)，1000 級凈化(hua)(hua)環境下(xia)標定及包裝(zhuang)。

3、精度調節
CS200-A,C,D 型 MFC/MFM 在制造完成后都要在相應的標定臺上烤機 24 小時，然后進行精確標定。精度、動態響應、壓力變化的穩定性等指標須經過兩次檢查,合格后方可出廠