真空手動多功能微型探針臺腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號

      真空手動多功能微型探針臺真(zhen)空(kong)信(xin)號連接處使用高級真(zhen)空(kong)電極信(xin)號接頭，保(bao)證氣密(mi)性及抗干擾(rao)性能。使用時將需(xu)將待檢測(ce)的(de)器(qi)件方在加(jia)熱臺面，探針(zhen)尖處由3軸可移動(dong)探針(zhen)手動(dong)調(diao)節(jie)移動(dong)至被測(ce)試器(qi)件的(de)引腳處，外部(bu)信(xin)號線(xian)連接測(ce)試儀器(qi)來測(ce)試電學信(xin)號。

* 溫(wen)度(du)可(ke)控(kong)，可(ke)控(kong)精(jing)度(du)<0.1℃

* 真空度10-3至10-5Torr
* 防震動設計
* 測量范圍DC至67 GHz
* 多(duo)可容納100毫米晶圓
* 可配置多達四個微操縱探針臂（波紋管）
* 探(tan)針座微操(cao)作(zuo)器(qi)行程±12mm
* 電纜線屏蔽、電氣噪聲、熱輻射損失降到(dao)低

* 可預留不同尺寸接(jie)口以備(bei)充入(ru)其它氣體使(shi)用

* 可預(yu)留接(jie)口(kou)以(yi)備(bei)安裝電子閥及流量計之用

* 顯微鏡觀察系統可選

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