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產品簡介
氣敏材料測試真空加熱腔體主要(yao)應用于半導體行(xing)業、光電行(xing)業、集成(cheng)電路(lu)以及封裝的測試。廣泛應用于復(fu)雜、高速(su)器件的精密電氣測量的研發，旨在(zai)確(que)保(bao)質量及可靠性(xing)，并縮減(jian)研發時(shi)間和器件制造工藝的成(cheng)本
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相(xiang)關文章| 品牌 | 鄭科探 |
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氣敏材料測試真空加熱腔主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本
該氣敏材料測試真空加熱腔的承片(pian)臺(tai)X/Y/Z三個(ge)方向(xiang)均可在真空環(huan)境下調節，其(qi)中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節(jie)范圍：0－13mm；z方向(xiang)調(diao)節范圍：0－13mm；用(yong)戶可根據需要(yao)自行調(diao)節(jie)。使用(yong)時將需檢(jian)測的器件固定在加熱(re)臺上，再(zai)微調(diao)探針支架(jia)X/Y/Z 方向行程(cheng)，通(tong)過顯(xian)微鏡觀察，使探針(zhen)對(dui)準檢測點(dian)后，即(ji)可進行檢測。
腔體材質(zhi) | 304不銹(xiu)鋼(gang) |
上(shang)蓋開(kai)啟 | 鉸鏈側開(kai) |
內腔體尺寸 | φ140x180 |
加(jia)熱臺材質 | 304不銹鋼 |
觀(guan)察窗尺(chi)寸 | φ75 |
加熱臺尺寸 | 50x50 |
加熱(re)臺溫度(du) | 室溫-350℃可調 |
加(jia)熱臺溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機械泵(beng)≤10Pa 分子(zi)泵(beng)≤10-3Pa |
真空抽氣口 | KF25 |
氣(qi)體進氣(qi)口(kou) | 3mm-6mm卡套接(jie)頭 |
進氣閥門 | 高精密針閥(fa) |
抽氣閥門 | KF25真空擋板閥(fa) |
壓力表(biao) | 機(ji)械壓力表 -0.1-0.15mpa |
信(xin)號(hao)電極 | 4個 |
探針數量 | 4個(ge) |
探針(zhen)材質 | φ1.5鎢針 其他(ta)材(cai)質可(ke)選 |
探針(zhen)移動平臺 | |
X軸移動行(xing)程(cheng) | 30mm ±15mm |
X軸控制精(jing)度 | ≤0.1MM |
Y軸(zhou)移動行程 | 13MM ±6.5mm |
Y軸控制(zhi)精度 | ≤0.05MM |
Z軸移動行(xing)程 | 13mm ±6.5mm |
Z軸(zhou)控制(zhi)精(jing)度 | ≤0.05MM |
信號(hao)電極 | |
電(dian)極芯 | 1芯 |
電極引出接頭 | BNC母頭 |
電極引出線 | 銅網信號(hao)屏蔽(bi)線 |
BNC引(yin)出接頭 | X4 |
額定電(dian)流 | ≤5A |
額定電(dian)壓 | ≤220V |
電(dian)極芯直徑 | φ1mm |
接(jie)觸電阻 | ≤5MΩ |
絕緣電阻 | ≥1000 MΩ |
外殼(ke)接地 | 是 |
電子顯(xian)微鏡 | |
電子顯(xian)微鏡根(gen)據客戶需要配置不同倍率 請(qing)和客服(fu)溝通(tong) | |
做(zuo)氣體傳感器(qi)的(de)客戶可以選(xuan)擇本公司的(de)多通道智能氣體配(pei)比(bi)系(xi)統
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