多種氣體流量計混合配比器模擬式質量流量控制(zhi)器是是中國早的氣體測控產品，迄今為止已經(jing)30多年(nian)。 產品種類50余種，涵(han)蓋數(shu)字型(xing)(xing)，普通型(xing)(xing)，大量程(cheng)型(xing)(xing)，高精度型(xing)(xing)，快響應(ying)型(xing)(xing)，耐(nai)壓型(xing)(xing)，金屬(shu)密封型(xing)(xing)等多種類型(xing)(xing)的需求(qiu)。產品歷(li)經(jing)市場考驗，廣泛應(ying)用于半(ban)導體、真空、太陽能、分析儀(yi)器、光電、制(zhi)氣、石(shi)化、醫療、食品、航空電力(li)等行業，已經(jing)成為支(zhi)撐(cheng)各(ge)工業領域(yu)行業發展的重要設備。

產品用途;
  多種氣體流量計混合配比器和(he)氣(qi)(qi)體質(zhi)量流量計（MFM）用(yong)于對(dui)氣(qi)(qi)體的(de)質(zhi)量流量進行精(jing)密(mi)控(kong)制(zhi)和(he)測(ce)量。它(ta)們在半導體集成(cheng)電路(lu)工藝、特種材料、化學工業、石(shi)油工業、醫藥、環 保和(he)真空等(deng)多種領域(yu)的(de)科(ke)研和(he)生產中有著重(zhong)要的(de)應(ying)(ying)用(yong)。其典型的(de)應(ying)(ying)用(yong)場(chang)合包括: 集成(cheng)電路(lu)工 藝設(she)備, 如(ru)外延(yan)爐、擴散爐、CVD、等(deng)離(li)子(zi)刻蝕機、濺射(she)臺(tai)、離(li)子(zi)注入機; 以及鍍膜設(she)備、 光纖(xian)熔(rong)煉(lian)設(she)備、微反應(ying)(ying)裝(zhuang)置、混(hun)氣(qi)(qi)配氣(qi)(qi)系統、氣(qi)(qi)體取樣裝(zhuang)置、毛細管測(ce)量儀、氣(qi)(qi)相色譜儀及 其它(ta)分析儀器。

氣(qi)(qi)體(ti)質量流(liu)量控制器(qi)（MFC）和(he)氣(qi)(qi)體(ti)質量流(liu)量計（MFM）用于對氣(qi)(qi)體(ti)的質量流(liu)量進行(xing) 精密控制和(he)測量。它(ta)們在半導體(ti)集(ji)(ji)成電路工藝、特種(zhong)材料(liao)、化學工業(ye)、石油工業(ye)、醫藥、環 保和(he)真(zhen)空(kong)等多種(zhong)領域的科(ke)研和(he)生產中有著重要(yao)的應用。其典型的應用場合(he)包括: 集(ji)(ji)成電路工 藝設備, 如外延爐、擴散(san)爐、CVD、等離子刻蝕機(ji)、濺射臺(tai)、離子注入(ru)機(ji); 以及鍍膜(mo)設備、光(guang)纖熔煉設備、微反應裝置、混(hun)氣(qi)(qi)配氣(qi)(qi)系統、氣(qi)(qi)體(ti)取樣裝置、毛細管測量儀、氣(qi)(qi)相(xiang)色(se)譜儀及 其它(ta)分析(xi)儀器(qi)。