1、氣體環境密封 6探針真空探針臺測試腔

測試夾具要求：可實現XYZ移動；

測試腔(qiang)：同時滿足靜態/動態(tai)測試，304不銹鋼材質，可在紫外燈下保證氣密性測試；

測(ce)試樣品數：同時測(ce)試8個樣品，可進(jin)行頻率-阻(zu)抗測試、插(cha)指電極和(he)場效應(ying)管(guan)測試；

測量溫度(du)：室溫---300 ℃

控溫精(jing)度：±1 ℃

顯示精度(du)：±0.1 ℃

測溫傳(chuan)感器：PT100

升溫斜率(lv)：1-10 ℃/min

通訊類型：RS485

加熱功率：500 W

測試腔容(rong)積<2 L

2、氣體環境密封 6探針真空探針臺測試腔

流量計(ji)數量：5個，（根(gen)據客戶需(xu)求標定 氣體  量程(cheng)    進氣口(kou)和出氣口(kou)） 

流量(liang)規格：500 ml/min

精(jing)準度：±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(＜30% F.S.)

重復(fu)精度(du)：±0.2% F.S

響應時間：≤1 s

密封形式：金(jin)屬密封

   探針(zhen)臺主要應用于半導體(ti)行(xing)業、光電行(xing)業、集成(cheng)電路以及(ji)封裝的(de)測(ce)試(shi)。廣泛應用于復(fu)雜(za)、高速(su)器件(jian)的(de)精密電氣(qi)測(ce)量(liang)的(de)研(yan)發(fa)(fa)，旨在確保質量(liang)及(ji)可(ke)靠性，并縮減研(yan)發(fa)(fa)時(shi)間和(he)器件(jian)制造工藝的(de)成(cheng)本(ben)

   該探(tan)針(zhen)臺的承(cheng)片臺X/Y/Z三個方(fang)向均可在(zai)真空環境下調節(jie)，其中X方(fang)向調節(jie)范(fan)圍：0－30mm；y方(fang)向調節(jie)范(fan)圍：0－13mm；z方(fang)向調節(jie)范(fan)圍：0－13mm；用戶(hu)可根據需(xu)要自行調節(jie)。使用時(shi)將需(xu)檢(jian)(jian)測的器件固定在(zai)加熱臺上，再(zai)微調探(tan)針(zhen)支架X/Y/Z 方(fang)向行程(cheng)，通過顯微鏡觀察，使探(tan)針(zhen)對準(zhun)檢(jian)(jian)測點后，即可進(jin)行檢(jian)(jian)測。

接頭尺寸：6 mm

漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s

通訊接(jie)口：RS485

4、樣品12*10mm，探(tan)針可移動范圍(wei)x-y 1-10mm，z軸

5、每個(ge)(ge)樣(yang)品(pin)上(shang)方一個(ge)(ge)紫外(wai)燈，四個(ge)(ge)燈連(lian)成燈串外(wai)置一個(ge)(ge)可(ke)控開(kai)關(guan)。紫外(wai)燈可(ke)更換，樣(yang)品(pin)上(shang)方2cm。

6、加熱板上有(you)個鍍金襯底，用來連接(jie)柵極。