6探針氣體環境密封真空探針臺  探針臺(tai) 高(gao)溫探針測(ce)試臺(tai) 變溫探針臺(tai)真空(kong)高(gao)低溫光電器件測(ce)試探針臺(tai)

1、6探針氣體環境密封真空探針臺   測試(shi)腔、控溫(wen)及加熱系統(tong)

測(ce)試夾具要(yao)求：可實現XYZ移(yi)動；

測試腔：同時(shi)滿足(zu)靜態/動態測試，304不銹鋼材質(zhi)，可在紫外燈下保(bao)證(zheng)氣密性測試；

測試(shi)樣品(pin)數：同時測試(shi)8個樣品，可進行頻率-阻抗測試(shi)、插指電極和場效(xiao)應(ying)管測試(shi)；

測量溫度：室溫---300 ℃

控溫精度：±1 ℃

顯示精度：±0.1 ℃

測溫傳感器：PT100

2、氣(qi)體配(pei)比器(qi)

流量計數量：5個，（根據客戶(hu)需求標定 氣(qi)(qi)體  量程    進氣(qi)(qi)口(kou)和(he)出(chu)氣(qi)(qi)口(kou)） 

流量(liang)規格：500 ml/min

精準度：±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(＜30% F.S.)

重復(fu)精度：±0.2% F.S

響應時間：≤1 s

密(mi)封形式(shi)：金(jin)屬密(mi)封

接頭尺(chi)寸(cun)：6 mm

漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s

通訊接口：RS485

4、樣品(pin)12*10mm，探針可移動(dong)范(fan)圍x-y 1-10mm，z軸3-5mm

5、每個(ge)樣品上方一個(ge)紫外(wai)燈(deng)，四個(ge)燈(deng)連成(cheng)燈(deng)串外(wai)置(zhi)一個(ge)可(ke)(ke)控(kong)開關。紫外(wai)燈(deng)可(ke)(ke)更(geng)換(huan)，樣品上方2cm。

6、加熱板上有個(ge)鍍金襯底，用來連(lian)接柵極。

升(sheng)溫(wen)斜(xie)率：1-10 ℃/min

通訊類型：RS485

加熱功率：500 W

測試(shi)腔容積(ji)<2 L

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