1、光學環境真空微腔探針臺 測試腔、控溫及加熱系統

測試夾具要求：可實現XYZ移動；光(guang)學環境(jing)真空微腔探(tan)針臺

測試腔：同時滿足靜態/動態測試，304不銹鋼材質，可在紫外燈下保證氣密性測試；

測試樣品數：同時測試8個樣品，可進行頻率-阻抗測試、插指電極和場效應管測試；

測量溫度：室溫---300 ℃

控溫精度：±1 ℃

顯示精度：±0.1 ℃

測溫傳感器：PT100

升溫斜率：1-10 ℃/min

通訊類型：RS485

加熱功率：500 W

測試腔容積<2 L

2、探針臺和氣體配比器

流量計數量：5個，（根據客戶需求標定 氣體  量程    進氣口和出氣口）

流量規格：500 ml/min

精準度：±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(＜30% F.S.)

重復精度：±0.2% F.S

響應時間：≤1 s

密封形式：金屬密封

接頭尺寸：6 mm

漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s

通訊接口：RS485

4、樣品12*10mm，探針可移動范圍x-y 1-10mm，z軸3-5mm

5、每個樣品上方一個紫外燈，四個燈連成燈串外置一個可控開關。紫外燈可更換，樣品上方2cm。

6、加熱板上有個鍍金襯底，用來連接柵極。

         目前公司已研(yan)(yan)發生產(chan)(chan)產(chan)(chan)品(pin)十多個系(xi)列(lie)幾十款產(chan)(chan)品(pin)，產(chan)(chan)品(pin)囊括實(shi)驗(yan)電爐(lu)   CVD供氣系(xi)統   等(deng)離子清(qing)洗機   小型(xing)離子濺射儀   小型(xing)蒸鍍儀  石英管真空封口   半導體檢測等(deng)。 主要適用(yong)于(yu)科研(yan)(yan)院(yuan)(yuan)校及工礦企業在新(xin)材(cai)料、新(xin)能源等(deng)領(ling)域物理特(te)性及化學特(te)性的(de)研(yan)(yan)究，廣銷于(yu)各(ge)大院(yuan)(yuan)校，及材(cai)料研(yan)(yan)究所。

     公司(si)與(yu)國(guo)內高校(xiao)，科研(yan)(yan)院所有多層次的(de)合(he)作(zuo)關系(xi)，建有開(kai)放實驗室，相關領域的(de)教授(shou)、高級工(gong)程師、博士參與(yu)公司(si)產品(pin)的(de)研(yan)(yan)究(jiu)和開(kai)發(fa)。我們秉承公司(si)的(de)發(fa)展(zhan)理念，依靠(kao)嚴謹的(de)技術研(yan)(yan)發(fa)能力，科學合(he)理的(de)生產工(gong)藝(yi)，精益(yi)求精的(de)制造要(yao)求，全心全意做(zuo)好產品(pin)質量和服務工(gong)作(zuo)，科探儀(yi)器(qi)時刻懷著一(yi)顆真誠的(de)心期待與(yu)您的(de)合(he)作(zuo)。