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真空探(tan)針(zhen)臺(tai)測試(shi)設備 高(gao)低溫(wen)測試(shi)臺(tai)探(tan)針(zhen)臂(bei)為X/Y/Z三軸移動，三個(ge)方(fang)向均(jun)可(ke)在真空環境下精密(mi)移位調(diao)節(jie)(jie)，其中X方(fang)向調(diao)節(jie)(jie)范(fan)圍：0－30mm；y方(fang)向調(diao)節(jie)(jie)范(fan)圍：0－20mm；z方(fang)向調(diao)節(jie)(jie)范(fan)圍：0－20mm；用(yong)戶可(ke)根據需要自行調(diao)節(jie)(jie)。使用(yong)時(shi)將需檢(jian)測的(de)器件(jian)固(gu)定在加熱臺(tai)上，再微(wei)調(diao)探(tan)針(zhen)支(zhi)架X/Y/Z 方(fang)向行程，通過顯微(wei)鏡觀察，使探(tan)針(zhen)對準檢(jian)測點(dian)后，即可(ke)進行
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相關(guan)文章| 品牌 | 鄭科探 |
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真空探針臺測試設備 高低溫測試臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復(fu)雜、高速器(qi)件的精(jing)密電氣測量的研發，旨在確保(bao)質量及可靠性，并縮減研發時間和器(qi)件制造工藝的成(cheng)本。
該真空探針臺測試設備 高低溫測試臺的承載臺為60x60不銹鋼(gang)臺面(mian)，臺面(mian)可升溫到(dao)高350℃。真空(kong)腔體(ti)(ti)設計有進氣口和(he)抽真空(kong)接口。探針臂(bei)為X/Y/Z三軸移動，三個方向均(jun)可在(zai)真空環境下精密移位(wei)調(diao)節(jie)，其中X方向(xiang)調(diao)節(jie)范(fan)圍(wei)：0－30mm；y方向調節范(fan)圍：0－20mm；z方(fang)向調節范圍：0－20mm；用戶(hu)可根據需(xu)要自行調節。使用時將需(xu)檢(jian)測(ce)的器件固定在(zai)加熱臺(tai)上(shang)，再(zai)微調探針(zhen)支(zhi)架X/Y/Z 方向行程，通過顯微(wei)鏡觀(guan)察，使探針對準(zhun)檢測點后，即可(ke)進行檢測
真空腔(qiang)體 | |
腔體材質 | 304不銹鋼 |
上蓋(gai)開啟 | 鉸鏈側(ce)開 |
加(jia)熱(re)臺材質 | 304不銹鋼(gang) |
內(nei)腔體尺(chi)寸 | φ160x90mm |
觀察窗尺寸 | Φ70mm |
加熱臺(tai)尺寸 | φ60mm |
觀察(cha)窗熱(re)臺間距 | 75mm |
加熱臺溫度 | 35-350℃ |
加熱臺溫控(kong)誤差 | ±1℃ |
真空(kong)度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正壓 | ≤0.1MPa |
真空(kong)抽氣口 | KF25真(zhen)空法蘭 |
氣(qi)(qi)體進氣(qi)(qi)口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
電信號接頭 | SMA轉BNC X 4 |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
探針(zhen)數量 | 4探針 |
探針(zhen)材質 | 鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動平臺(tai) | |
X軸移動(dong)行程 | 30mm ±15mm |
X軸(zhou)控制精(jing)度(du) | ≤0.01mm |
Y軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.01mm |
Z軸移動行(xing)程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控制(zhi)精度 | ≤0.01mm |
電子顯微鏡(jing) | |
顯微鏡類(lei)別 | 物(wu)鏡(jing) |
物鏡倍數 | 0.7-4.5倍(bei) |
工(gong)作間距 | 90mm |
相機(ji) | sony 高清 |
像(xiang)素(su) | 1920※1080像(xiang)素(su) |
圖(tu)像接口 | VGA |
LED可(ke)調光源 | 有 |
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