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產品簡介
低溫探針(zhen)臺 高(gao)溫真空微(wei)型測試(shi)臺 真空探針(zhen)臺主要應用于(yu)傳(chuan)感器(qi)(qi)，半(ban)導體，光(guang)電，集成電路以及(ji)封裝(zhuang)的(de)測試(shi)。 廣泛應用于(yu)復雜、高(gao)速器(qi)(qi)件(jian)的(de)精(jing)密電氣測量(liang)的(de)研(yan)(yan)發，旨在確保質量(liang)及(ji)可(ke)靠性(xing)，并縮減研(yan)(yan)發時間和器(qi)(qi)件(jian)制造工藝的(de)成本。
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低溫探針臺 高溫真空微型測試臺 真空探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
低溫探針臺 高溫真空微型測(ce)試(shi)臺 真空探針臺(tai)承(cheng)載臺為60x60不銹鋼(gang)臺面，臺面可升溫(wen)到高350℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為(wei)X/Y/Z三軸移(yi)(yi)動，三個方向(xiang)均可(ke)在(zai)真空環境下精密移(yi)(yi)位調節，其中(zhong)X方向(xiang)調節范圍：0－30mm；y方(fang)向調節范圍：0－20mm；z方(fang)向調節范圍：0－20mm；用(yong)戶可根(gen)據需(xu)要(yao)自(zi)行調(diao)節。使(shi)用(yong)時將需(xu)檢(jian)測的器件固(gu)定在加熱臺上，再微調(diao)探(tan)針支架X/Y/Z 方向行程，通過(guo)顯微鏡觀察，使(shi)探針(zhen)對準檢測(ce)點后，即可進行檢測(ce)
真空(kong)探針臺(tai)真空腔體(ti) | |
腔體(ti)材質 | 304不銹(xiu)鋼 |
上蓋開(kai)啟 | 鉸鏈側開 |
加熱臺材質 | 304不銹鋼 |
內腔體(ti)尺寸 | φ160x90mm |
觀察窗(chuang)尺寸 | Φ70mm |
加熱(re)臺尺寸 | φ60mm |
觀察窗熱臺間(jian)距 | 75mm |
加熱臺(tai)溫度 | 35-350℃ |
加熱臺溫控誤差 | ±1℃ |
真(zhen)空度 | 機械泵≤10Pa 分子(zi)泵≤10-3Pa |
允許正壓(ya) | ≤0.1MPa |
真(zhen)空抽氣口 | KF25真空法蘭(lan) |
氣(qi)體(ti)進氣(qi)口 | 3mm-6mm卡(ka)套接頭 |
電信號(hao)接頭 | SMA轉BNC X 4 |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhi)耐(nai)壓 ≤500V |
探針數量 | 4探針(zhen) |
探針材(cai)質 | 鎢針(zhen) |
探針尖 | 10μm |
探針移動平臺(tai) | |
X軸移動行程 | 30mm ±15mm |
X軸控(kong)制(zhi)精度 | ≤0.01mm |
Y軸(zhou)移(yi)動行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制精(jing)度 | ≤0.01mm |
Z軸移動行(xing)程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm |
電子顯微(wei)鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡 |
物鏡倍數 | 0.7-4.5倍 |
工作間距 | 90mm |
相機 | sony 高清 |
像素 | 1920※1080像素 |
圖像(xiang)接口 | VGA |
LED可調(diao)光源 | 有(you) |
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