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產品簡介
高(gao)溫35-350℃真(zhen)空探(tan)針臺主要(yao)應(ying)用于(yu)傳(chuan)感(gan)器，半導體(ti)，光電(dian)，集成電(dian)路以及封裝的測試。 廣泛應(ying)用于(yu)復雜、高(gao)速器件(jian)的精密(mi)電(dian)氣測量的研發(fa)，旨在(zai)確保質量及可靠(kao)性，并縮減研發(fa)時間和器件(jian)制(zhi)造工藝的成本(ben)。
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相(xiang)關文章| 品牌 | 鄭科探 |
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高溫35-350℃真空探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
高溫35-350℃真空探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面(mian)，臺面(mian)可升溫到350℃。真(zhen)空(kong)腔體設計有進氣(qi)口(kou)和抽真(zhen)空(kong)接(jie)口(kou)。探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個(ge)方向均可在真空(kong)環境下(xia)精密移位(wei)調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方(fang)向調節(jie)范(fan)圍：0－20mm；z方(fang)向(xiang)調節范圍：0－20mm；用戶可根(gen)據需要自行調(diao)節(jie)。使用時將(jiang)需檢測(ce)的器件固(gu)定(ding)在加熱臺上，再微調(diao)探針支(zhi)架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對(dui)準檢測點后(hou)，即可進行檢測
加熱(re)型 | 冷熱型 | |
腔體材質 | 304不銹(xiu)鋼 | |
上蓋開(kai)啟 | 鉸(jiao)鏈(lian)側開 | |
加熱臺材質 | 304不(bu)銹(xiu)鋼 | |
內腔體(ti)尺(chi)寸 | φ160x90mm | |
觀(guan)察窗(chuang)尺寸(cun) | Φ70mm | |
加熱臺尺(chi)寸 | φ60mm | |
觀(guan)察窗熱臺間距 | 75mm | |
加熱(re)臺溫度(du) | 35-350℃ | -196-350℃ |
加熱臺溫控(kong)誤差 | ±1℃ | |
真空度 | 機械泵≤10Pa 分(fen)子泵(beng)≤10-3Pa | |
允許(xu)正壓 | ≤0.1MPa | |
真空抽氣口 | KF25真空法蘭 | |
氣(qi)體進氣(qi)口 | 3mm-6mm卡(ka)套接頭 | |
電信號接(jie)頭 | SMA轉BNC X 4 | |
電(dian)學性能(neng) | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhi)耐(nai)壓 ≤500V 漏電流 ≤-10次方安培 | |
探針數量 | 4探(tan)針(zhen) | |
探針材質 | 鍍金鎢針 | |
探(tan)針尖 | 10μm | |
探針移動平(ping)臺 | ||
X軸(zhou)移動行程 | 30mm ±15mm | |
X軸控制(zhi)精度 | ≤0.01mm | |
Y軸移動行程 | 13mm ±12.5mm | |
Y軸控制精(jing)度 | ≤0.01mm | |
Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm | |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm | |
電子顯微鏡 | ||
顯微鏡類別 | 物鏡 | |
物鏡倍數(shu) | 0.7-4.5倍(bei) | |
工(gong)作間距 | 90mm | |
相機(ji) | sony 高(gao)清 | |
像素(su) | 1920※1080像素 | |
圖像接口 | VGA | |
LED可調光(guang)源(yuan) | 有 | |
顯示(shi)屏 | 8寸(cun) | |
放(fang)大倍數 | 19-135倍(bei),視場(chang)范圍(wei)15×13-2.25×1.7mm，小可分(fen)辨(bian)0.08mm | |
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