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Product Center分子泵(beng)≤10-3Pa真空探針臺主要應(ying)用(yong)于(yu)傳感器(qi)(qi),半導體,光電,集成電路以及封裝(zhuang)的(de)測(ce)(ce)試。 廣泛應(ying)用(yong)于(yu)復(fu)雜、高(gao)速器(qi)(qi)件的(de)精密電氣測(ce)(ce)量(liang)的(de)研(yan)發(fa),旨(zhi)在(zai)確保質量(liang)及可(ke)靠性(xing),并縮減研(yan)發(fa)時間和器(qi)(qi)件制造(zao)工藝的(de)成本。
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分子泵≤10-3Pa真空探針臺主(zhu)要應用于傳(chuan)感器,半導體,光電,集成電路以及(ji)封裝的測(ce)試。 廣泛應用于(yu)復(fu)雜、高(gao)速器(qi)件的(de)精密(mi)電氣測(ce)量的(de)研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時(shi)間和器(qi)件制(zhi)造工(gong)藝的(de)成(cheng)本(ben)。
分子泵≤10-3Pa真空探針臺該(gai)探針臺(tai)的承(cheng)載(zai)臺(tai)為60x60不銹鋼臺面,臺面可升溫到350℃。真空腔體設計有進氣(qi)口和(he)抽真空接(jie)口。探(tan)針臂為X/Y/Z三軸移(yi)動,三個方向均可在(zai)真空環境下精密(mi)移(yi)位調節,其中X方向調節范圍:0-30mm;y方(fang)向(xiang)調節范圍:0-20mm;z方向調節范圍:0-20mm;用(yong)戶(hu)可根(gen)據需(xu)要自行調(diao)節。使(shi)用(yong)時將需(xu)檢測(ce)的(de)器(qi)件固定(ding)在(zai)加(jia)熱臺上(shang),再微調(diao)探針支(zhi)架X/Y/Z 方向行程,通過顯(xian)微鏡觀察,使探針對準檢測(ce)點(dian)后,即可進行檢測(ce)
加熱型(xing) | 冷熱型 | |
腔體材質(zhi) | 304不銹鋼(gang) | |
上蓋開(kai)啟(qi) | 鉸鏈(lian)側開 | |
加熱臺材質 | 304不銹(xiu)鋼(gang) | |
內(nei)腔體尺寸(cun) | φ160x90mm | |
觀察(cha)窗尺寸 | Φ70mm | |
加熱臺尺(chi)寸(cun) | φ60mm | |
觀察窗熱臺間距(ju) | 75mm | |
加熱臺溫度 | 35-350℃ | -196-350℃ |
加熱臺(tai)溫控誤差 | ±1℃ | |
真空度 | 機械泵≤10Pa 分(fen)子泵≤10-3Pa | |
允許正壓 | ≤0.1MPa | |
真(zhen)空抽氣口(kou) | KF25真空法蘭 | |
氣(qi)(qi)體進氣(qi)(qi)口 | 3mm-6mm卡套接頭 | |
電信號(hao)接頭 | SMA轉BNC X 4 | |
電學性能(neng) | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V 漏電流 ≤-10次方安培 | |
探針數(shu)量 | 4探針 | |
探針材質 | 鍍(du)金(jin)鎢針 | |
探針(zhen)尖 | 10μm | |
探針移動平臺 | ||
X軸移動行程 | 30mm ±15mm | |
X軸(zhou)控制(zhi)精度 | ≤0.01mm | |
Y軸移動行程(cheng) | 13mm ±12.5mm | |
Y軸控制(zhi)精度 | ≤0.01mm | |
Z軸(zhou)移動行程 | 13mm ±12.5mm | |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm | |
電子顯(xian)微(wei)鏡 | ||
顯微鏡類別(bie) | 物(wu)鏡 | |
物鏡倍數 | 0.7-4.5倍 | |
工作間(jian)距(ju) | 90mm | |
相機 | sony 高清 | |
像素 | 1920※1080像素 | |
圖(tu)像接口 | VGA | |
LED可調光源 | 有 | |
顯示屏 | 8寸 | |
放大(da)倍數(shu) | 19-135倍(bei),視(shi)場范圍15×13-2.25×1.7mm,小可分(fen)辨0.08mm |