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產品簡介
真空光電探針臺 主要應(ying)(ying)用于半導體行(xing)業、光電行(xing)業、集成電路(lu)以及封裝(zhuang)的測試(shi)。廣泛應(ying)(ying)用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確(que)保(bao)質量及可靠性，并(bing)縮減研發時間和器件制造工(gong)藝的成本
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相關文章(zhang)| 品牌 | 鄭科探 | 應用領域 | 電子 |
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真(zhen)空光電探針臺 主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本
該真空光(guang)電(dian)探針(zhen)臺 的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環境下調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節范圍：0－13mm；z方向調節范圍：0－13mm；用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。
實驗腔體 | |
腔體材質 | 304不銹鋼 |
上蓋開啟(qi) | 鉸鏈(lian)側開(kai) |
內腔體尺寸 | φ140x180 |
加熱臺材質 | 304不銹鋼(gang) |
觀(guan)察窗尺寸 | φ75 |
加熱(re)臺尺寸 | 50x50 |
加熱臺(tai)溫度(du) | 室溫-350℃可調 |
加熱(re)臺溫控(kong)誤差 | ±1℃ |
真(zhen)空(kong)度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
真空抽氣口(kou) | KF25 |
氣(qi)體進(jin)氣(qi)口 | 3mm-6mm卡套(tao)接頭 |
進氣(qi)閥(fa)門 | 高精密針閥 |
抽氣閥門(men) | KF25真空(kong)擋板閥 |
壓力表 | 機械壓力表 -0.1-0.15mpa |
信號電極 | 4個 |
探針數量 | 4個 |
探(tan)針(zhen)材質 | φ1.5鎢針(zhen) 其他(ta)材質可選 |
探針移動平臺(tai) | |
X軸移動行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.1MM |
Y軸(zhou)移(yi)動行程 | 13MM ±6.5mm |
Y軸(zhou)控制精度 | ≤0.05MM |
Z軸移動行程 | 13mm ±6.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.05MM |
信(xin)號電極 | |
電極芯(xin) | 1芯 |
電(dian)極引出接頭 | BNC母頭 |
電極引出線(xian) | 銅網信號(hao)屏蔽線 |
BNC引(yin)出接頭(tou) | X4 |
額定電流 | ≤5A |
額定電壓 | ≤220V |
電極芯直(zhi)徑 | φ1mm |
接觸電阻 | ≤5MΩ |
絕(jue)緣電(dian)阻(zu) | ≥1000 MΩ |
外殼接地 | 是 |
電子顯微鏡 | |
電子顯微(wei)鏡根據客(ke)戶需要配置不同倍率 請和客(ke)服溝通(tong) | |
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