加熱高溫微型真空探針臺  

   KT-Z165M4RT精巧型真空腔體(ti)測(ce)試(shi)腔主(zhu)要用于(yu)氣體(ti)敏(min)感(gan)材料或其(qi)他對環境敏(min)感(gan)性材料中的電信(xin)號測(ce)試(shi)。測(ce)試(shi)腔體(ti)內部裝有(you)不銹鋼加(jia)熱承(cheng)載(zai)臺(tai)，臺(tai)面(mian)為φ30，臺(tai)面(mian)最高(gao)可升溫到最高(gao)400℃。 

       臺面四周裝(zhuang)有微型(xing)3軸(zhou)可移(yi)動(dong)鎢鋼探(tan)針(zhen)(zhen)，特(te)別適(shi)合微小(xiao)未封裝(zhuang)的(de)叉指電極(ji)等傳感器測(ce)試(shi)。該腔體設計(ji)有進氣(qi)口和抽真空接口其真空度用機械泵(beng)可達＜5Pa分子泵(beng)可達＜-3Pa。真空信(xin)號(hao)連(lian)接處使(shi)用高(gao)級(ji)真空電極(ji)信(xin)號(hao)接頭，保證氣(qi)密(mi)性(xing)及抗干(gan)擾性(xing)能。使(shi)用時將(jiang)需(xu)將(jiang)待檢測(ce)的(de)器件方在加熱臺面，探(tan)針(zhen)(zhen)頂尖處由3軸(zhou)可移(yi)動(dong)探(tan)針(zhen)(zhen)手(shou)動(dong)調節移(yi)動(dong)至(zhi)被測(ce)試(shi)器件的(de)引腳處，外部信(xin)號(hao)線連(lian)接測(ce)試(shi)儀器來測(ce)試(shi)電學(xue)信(xin)號(hao)。