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產品簡介
微型真空探針臺(tai)測(ce)試(shi)腔主要用于(yu)氣體(ti)敏感(gan)(gan)材料或其(qi)他對(dui)環(huan)境敏感(gan)(gan)性材料中的(de)電信號測(ce)試(shi)。測(ce)試(shi)腔體(ti)內(nei)部裝有(you)不銹鋼加熱承載臺(tai)，臺(tai)面(mian)為φ30，臺(tai)面(mian)最高可升溫到(dao)最高400℃。臺(tai)面(mian)四周裝有(you)微型3軸(zhou)可移(yi)動鎢鋼探針，特別適合微小未封(feng)裝的(de)叉指電極(ji)等傳感(gan)(gan)器測(ce)試(shi)。
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相關文章(zhang)| 品牌 | 鄭科探 |
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微型真空探針臺測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面最高可升溫到最高400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。
微型真空探針臺設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達<5Pa分子泵可達<-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針頂尖處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號
| 溫控器 | |
| 加熱溫度 | 35-350℃ |
| 溫控誤差(cha) | ±1℃ |
| 熱電偶類(lei)型 | PT100高(gao)精度傳(chuan)感器 |
| 溫控表 | 宇電溫控器 |
| 程序(xu)控溫 | 1段(duan)（可選(xuan)30段(duan)程序控(kong)溫表） |
| 加熱功(gong)率(lv) | ≤300W |
| 加(jia)熱(re)電源 | AC220v |
| 尺寸 | 230x230x125MM |
| 重量(liang) | 6kg |
| 真空探針熱臺 | |
| 腔(qiang)體(ti)材質 | 304不銹鋼 |
| 加(jia)工方式 | 一(yi)體式CNC精(jing)加工(gong) |
| 內(nei)腔體尺寸 | 137X57X21mm 容積165ML |
| 加(jia)熱臺(tai)尺寸 | Φ30mm |
| 觀察窗內(nei)徑(jing) | Φ46mm |
| 觀察窗材質(zhi) | 高透光石英(ying)玻(bo)璃 |
| 加熱溫(wen)度 | 400℃ 注意：熱(re)臺溫度(du)(du)和樣品溫度(du)(du)存在偏差 客戶可用PT100熱電阻貼(tie)在和樣品接近的樣品臺(tai)面測量熱電阻值對(dui)應分度值做校準(zhun)。 |
| 信號(hao)輸出頭 | SMA母頭 配線(xian) SMA轉BNC 1.5米 |
| 電(dian)學性(xing)能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhi)耐壓(ya) 500V |
| 抽(chou)氣口 | KF16 |
| 進氣口 | 6MM卡套(tao) |
| 使用正壓 | ≤O.05MPa |
| 使用負壓 | 機械泵(beng)可獲(huo)得真(zhen)空≤10Pa 分子(zi)泵(beng)可獲(huo)得真(zhen)空≤10 -3 Pa |
| 觀察窗內徑 | φ45 |
| 移動探針 | |
| 探針規格 | 探(tan)針粗Φ0.5mm 探(tan)針尖 10μm |
| 上下移動距離 | 2mm |
| 前后移(yi)動(dong)距離 | 20mm |
| 左右(you)旋轉距(ju)離 | 120° |
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