半導體/集成電路/微型真空探針臺KT-Z165M4LT精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面最高可升溫到最高400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。

               半導體/集成電路/微型真空探針臺該腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針頂尖處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。

 目前公司已(yi)研發生產(chan)產(chan)品(pin)十(shi)多個系列幾(ji)十(shi)款(kuan)產(chan)品(pin)，產(chan)品(pin)囊括實驗電爐(lu)   CVD供(gong)氣系統   等離子(zi)清(qing)洗機(ji) ;  小型離子(zi)濺射儀(yi)   小型蒸鍍儀(yi)  石英管真空封口   半導(dao)體等。 主(zhu)要(yao)適用于科研院校及(ji)工礦企(qi)業在(zai)新材(cai)(cai)料、新能源等領(ling)域物理特性及(ji)化學特性的(de)研究，廣(guang)銷于各(ge)大院校，及(ji)材(cai)(cai)料研究所。

    公司(si)與國內高(gao)校(xiao)，科研(yan)院所(suo)有多層(ceng)次的(de)(de)合(he)作關(guan)系，建有開放實驗(yan)室，相關(guan)領域的(de)(de)教授、工(gong)程師(shi)、博士參(can)與公司(si)產(chan)品的(de)(de)研(yan)究和開發。我(wo)們秉承公司(si)的(de)(de)發展理念，依(yi)靠嚴謹的(de)(de)技術研(yan)發能力，科學合(he)理的(de)(de)生產(chan)工(gong)藝，精益求精的(de)(de)制造要求，全(quan)心全(quan)意(yi)做好產(chan)品質量和服務工(gong)作，科探儀器時刻懷(huai)著一顆真誠的(de)(de)心期待與您的(de)(de)合(he)作。