產品中心
Product Center
產品簡介
氣體傳(chuan)感器測(ce)(ce)試腔(qiang)不銹鋼真空探針(zhen)(zhen)臺 探針(zhen)(zhen)臺主(zhu)要(yao)應(ying)用(yong)于半導體行(xing)業(ye)、光電行(xing)業(ye)、集成電路以及(ji)封裝的(de)測(ce)(ce)試。廣(guang)泛應(ying)用(yong)于復雜(za)、高速器件的(de)精密電氣測(ce)(ce)量(liang)的(de)研(yan)發，旨(zhi)在確保質量(liang)及(ji)可靠性，并縮減研(yan)發時間和(he)器件制造工藝(yi)的(de)成本(ben)
| 品牌 | 鄭科探 |
|---|
氣體傳感器測試腔不銹鋼真空探針臺探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本
氣體傳感器測試腔不銹鋼真空探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環境下調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節范圍：0－13mm；z方向調節范圍：0－13mm；用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。
技術參數 | |
腔(qiang)體材質 | 304不銹鋼 |
上蓋(gai)開啟(qi) | 鉸鏈側開 |
內腔(qiang)體尺寸(cun) | φ140x180 |
加熱臺材(cai)質 | 304不銹鋼(gang) |
觀察窗尺寸 | φ75 |
加熱臺尺寸(cun) | 50x50 |
加熱臺溫度 | 室溫-350℃可調 |
加熱臺(tai)溫(wen)控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機械泵(beng)≤10Pa 分子(zi)泵(beng)≤10-3Pa |
真空抽氣口 | KF25 |
氣(qi)體進氣(qi)口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
進(jin)氣閥門(men) | 高精密針閥 |
抽(chou)氣閥(fa)門 | KF25真(zhen)空擋板閥 |
壓力表(biao) | 機械壓力(li)表 -0.1-0.15mpa |
信號電極 | 4個 |
探針數量 | 4個 |
探(tan)針材質 | φ1.5鎢針 其(qi)他材(cai)質可選(xuan) |
探針移動平(ping)臺 | |
X軸移動行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精(jing)度 | ≤0.1MM |
Y軸移動行程 | 13MM ±6.5mm |
Y軸(zhou)控制精度 | ≤0.05MM |
Z軸移動行(xing)程 | 13mm ±6.5mm |
Z軸(zhou)控制(zhi)精度 | ≤0.05MM |
信號電極 | |
電(dian)極芯 | 1芯 |
電極引出接頭 | BNC母頭 |
電極引出線 | 銅網(wang)信號屏蔽(bi)線(xian) |
BNC引出接頭(tou) | X4 |
額定電流 | ≤5A |
額(e)定電壓 | ≤220V |
電極芯直(zhi)徑 | φ1mm |
接觸(chu)電阻(zu) | ≤5MΩ |
絕緣電(dian)阻(zu) | ≥1000 MΩ |
外殼接地 | 是 |
電(dian)子(zi)顯(xian)微鏡(jing) | |
電子顯微鏡根據客(ke)戶(hu)需要配(pei)置不同倍率 請和(he)客(ke)服溝通 | |
當前位置：
上一個：
返回列表
