非磁性霍爾效應光電真空探針臺 結構與特點

（1）真(zhen)空(kong)腔體：真(zhen)空(kong)度優于6×10^-4Pa。降溫后優于6×10^-5Pa。留有2個(ge)用戶法蘭接口（可接入氣(qi)體或(huo)者額外的(de)電纜）

（2）探針控制：標配(pei)4個(ge)探針臂。調節(jie)范圍50mm*50mm*30mm，調節(jie)精度(du)優于10um。每(mei)個(ge)探針臂配(pei)備一(yi)根Triax三同軸(zhou)低(di)(di)漏電(dian)線纜(lan)及探針。樣(yang)品臺底座配(pei)備額外一(yi)根Triax三同軸(zhou)低(di)(di)漏電(dian)線纜(lan)

（3）顯(xian)微(wei)鏡(jing)模(mo)塊：連(lian)續變倍單(dan)筒顯(xian)微(wei)鏡(jing)，光學放大(da)倍率：1.4X~9X（使用1X附(fu)加(jia)物(wu)鏡(jing)時），視頻(pin)放大(da)倍率約700倍。可選(xuan)2X附(fu)加(jia)物(wu)鏡(jing)。分辨率優于2um。全高(gao)清數字攝像頭(tou)，帶(dai)同軸(zhou)照明和環形照明，帶(dai)機械調焦(jiao)和光學調焦(jiao)

（4）變溫(wen)樣品臺(tai)：50mm直徑。變溫(wen)范(fan)圍：80K~400K。控溫(wen)穩(wen)定性優于±0.02K

（5）可(ke)(ke)選(xuan)配接(jie)入光纖(xian)，可(ke)(ke)將一根或幾根電(dian)學探針替換為(wei)光纖(xian)

（6）系(xi)統直(zhi)流漏電(dian)低于1pA

3、含進(jin)口(kou)分(fen)子泵機組、全量程真(zhen)空規和智能溫(wen)控儀

4、設(she)備照(zhao)(zhao)片（因配置不(bu)同，照(zhao)(zhao)片僅供(gong)參考）

非磁性霍爾效應光電真空探針臺

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