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產品簡介
小(xiao)型蒸(zheng)鍍(du)儀(yi)KT-Z1650CVD是一款小(xiao)型臺式加熱(re)功(gong)(gong)率(lv)可(ke)控蒸(zheng)發(fa)鍍(du)膜(mo)儀(yi)，儀(yi)器雖小(xiao)功(gong)(gong)能齊全，配備有電壓 電流(liu)反(fan)饋,樣(yang)品臺旋(xuan)轉，樣(yang)品高度調節，及電動擋板功(gong)(gong)能。通過定時調節預熱(re)功(gong)(gong)率(lv)及蒸(zheng)發(fa)功(gong)(gong)率(lv)，可(ke)對大部分金屬進行均勻蒸(zheng)發(fa)沉積，真空腔室(shi)為透明石英玻璃減少樣(yang)品污染，樣(yang)品臺可(ke)旋(xuan)轉以獲(huo)得更均勻的薄膜(mo)，可(ke)制備各(ge)種金屬薄膜(mo)和有機物(wu)薄膜(mo)。
| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求氣體 |
|---|---|---|---|
| 樣品臺尺寸 | φ50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
| 樣品倉尺寸 | 50mm | 靶材尺寸 | 50mm |
| 靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 | 價格區間 | 1-5萬 |
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 電子 |
小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動擋板功能。通過定時調節預熱功率及蒸發功率，可對大部分金屬進行均勻蒸發沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。
小型蒸鍍儀技術資料：
控制方式 | 7寸人機界面 手動 自(zi)動模式切換控制 |
加(jia)熱(re)方式 | 數字(zi)式功率調(diao)整(zheng)器(qi) |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位(wei)和(he)樣(yang)品速度程序(xu) |
最大功(gong)率 | ≤1200W |
最大輸出(chu)電壓電流 | 電壓≤12V 電流≤120A |
真空度(du) | 機械泵 ≤5Pa（5分(fen)鐘） 分(fen)子泵≤10^-3Pa |
擋板類型 | 電控 |
真(zhen)空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 （最大可安裝φ50基底(di)） |
樣(yang)品臺轉速 | 8轉(zhuan)/分鐘 |
樣品蒸發源調節距離 | 70-140mm |
蒸發(fa)溫度調節 | ≤1800℃ |
支持蒸發坩堝(guo)類型(xing) | 鎢(wu)(wu)絲藍 帶坩堝鎢(wu)(wu)絲藍 鎢(wu)(wu)舟 碳繩 |
預(yu)留真空接口 | KF25抽氣口(kou)(kou)(kou) KF16真空計接口(kou)(kou)(kou) KF16放氣口(kou)(kou)(kou) 6mm卡套進氣口(kou)(kou)(kou) |
可選配擴(kuo)展 | 機械真空泵（可(ke)抽(chou)真空 5分(fen)鐘＜5Pa） 數顯真(zhen)空(kong)計（測量范圍大(da)氣壓(ya)到0.1Pa） 分子(zi)泵(beng)機組（可(ke)抽真空(kong)20分鐘≤5x10-3Pa） |
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