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Product Center鄭科探小型蒸(zheng)(zheng)鍍儀KT-Z1650CVD是我(wo)公司專(zhuan)為科研院(yuan)所(suo)及實(shi)驗(yan)室用戶群體(ti)(ti)設計開發的一(yi)款(kuan)小型高(gao)真空蒸(zheng)(zheng)發鍍膜系(xi)統。機(ji)架電(dian)(dian)控一(yi)體(ti)(ti)化設計,整體(ti)(ti)布局緊湊合(he)理,充分考慮(lv)人機(ji)工程學的傾斜操控面(mian)板和可直觀(guan)觀(guan)察蒸(zheng)(zheng)發狀(zhuang)態的玻(bo)璃(li)真空室結構相得益彰。蒸(zheng)(zheng)發源可兼容金屬、有(you)機(ji)物蒸(zheng)(zheng)發。廣泛應用于高(gao)校、科研院(yuan)所(suo)制(zhi)備功能(neng)薄(bo)膜、蒸(zheng)(zheng)鍍電(dian)(dian)極、掃描電(dian)(dian)鏡制(zhi)樣等(deng),特別適合(he)太陽能(neng)電(dian)(dian)池、有(you)機(ji)EL、LED顯(xian)示管研究與開發領(ling)域。
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相關文章(zhang)品牌 | 鄭科探 | 產地類別 | 國產 |
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應用領域 | 化工,電子 |
鄭科探小型蒸鍍儀
-熱蒸發源:電阻式熱蒸發舟,交流電源;
- 腔體:不(bu)銹鋼或石英腔體可供客戶選擇(ze);
- 泵(beng):前級干泵(beng),分子泵(beng);
- Load Lock樣品傳(chuan)(chuan)輸(shu)腔(qiang)室:手動(dong)或自(zi)動(dong)傳(chuan)(chuan)輸(shu),高真空,支持(chi)多種樣品襯底(選(xuan)配);
- 工藝(yi)控制:PC/PLC機(ji)制的自(zi)動控(kong)制、數據處理、工(gong)藝記憶儲存;
- 襯(chen)底固定(ding)(ding):單襯(chen)底固定(ding)(ding),客戶化襯(chen)底固定(ding)(ding)方(fang)式;
- 襯底夾具:加熱,冷卻(que),偏置,旋轉等(deng);
- 保護樣(yang)品:配有樣(yang)品擋板,可手(shou)動或自動開(kai)/關擋板,達到及時遮(zhe)擋樣(yang)品效(xiao)果;
以下(xia)為蒸發鍍膜設備(bei)的示意(yi)圖(tu):
以下(xia)是(shi)不同真空度 不同鍍(du)膜(mo)時間(jian)鍍(du)銅樣品圖(tu)
原樣品沒有鍍膜 115A 100秒(miao) 機械泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘 115A 120秒(miao) 分子泵抽20分鐘
真(zhen)空度越(yue)高 越(yue)不易氧化(hua) 越(yue)接近(jin)金屬本色
鄭科探小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD技術資料
控制方式(shi) | 7寸人機界(jie)面 手動 自(zi)動模式切換控制 |
加熱方式 | 數字式功率調整(zheng)器 |
鍍膜功能(neng) | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
最大功率(lv) | ≤1200W |
最大輸出電(dian)壓電(dian)流(liu) | 電壓≤12V 電流≤120A |
真空度 | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa |
擋板類型 | 電控 |
真(zhen)空腔(qiang)室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 (最大可安裝φ50基底) |
樣品(pin)臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品蒸發(fa)源調節距(ju)離 | 70-140mm |
蒸(zheng)發溫度調節 | ≤1800℃ |
支持蒸發(fa)坩堝類(lei)型(xing) | 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 |
預留真空接(jie)口 | KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
可選配擴(kuo)展 | 機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa) 數顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa) 分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa) |
技術支持&服務:
1. 技術支(zhi)持:在合同簽(qian)訂之前,我們的(de)專業(ye)工程(cheng)師(shi)會在充分(fen)了(le)(le)解客戶需求的(de)前提下,為客戶做出(chu)*的(de)選型和方案設計,使(shi)(shi)客戶充分(fen)了(le)(le)解并理解產品技術指標(biao)、性能用途、使(shi)(shi)用場合、安(an)全注意事(shi)項等,以(yi)幫助客戶做出(chu)正確(que)的(de)選擇(ze)。
2. 安(an)裝與培(pei)訓(xun)(xun):在產品使(shi)用前,我(wo)們會(hui)派專業(ye)工程師為您提供現場(chang)技術支持、培(pei)訓(xun)(xun)及(ji)演示(shi)服務。
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