叉指電極真空探針臺KT-0904T-RL

微(wei)間距的(de)(de)(de)(de)(de)叉(cha)(cha)指電極是(shi)一種(zhong)為常用(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)微(wei)間距電極結(jie)構，它被廣(guang)泛的(de)(de)(de)(de)(de)應用(yong)于非破壞性測(ce)試、電子通訊、化學測(ce)試等多個領域。 一般(ban)來(lai)說，不(bu)同(tong)(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)應用(yong)領域對(dui)(dui)于叉(cha)(cha)指電極的(de)(de)(de)(de)(de)形(xing)狀、幾(ji)何學尺寸、加工工藝、材料的(de)(de)(de)(de)(de)選(xuan)擇、建(jian)模分(fen)析、系統集成以及數據(ju)的(de)(de)(de)(de)(de)分(fen)析都有不(bu)同(tong)(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)(yao)(yao)求(qiu)，因(yin)(yin)此對(dui)(dui)于不(bu)同(tong)(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)領域我們應該區分(fen)對(dui)(dui)待。如(ru)圖所示，列出了(le)幾(ji)種(zhong)常見的(de)(de)(de)(de)(de)叉(cha)(cha)指電極結(jie)構，基本的(de)(de)(de)(de)(de)結(jie)構有圓形(xing)、矩形(xing)等，而(er)每條叉(cha)(cha)指的(de)(de)(de)(de)(de)形(xing)狀除簡(jian)單的(de)(de)(de)(de)(de)矩形(xing)外，也可(ke)有圓形(xing)或(huo)(huo)矩形(xing)突起。在這里，我們要(yao)(yao)(yao)根據(ju)環境監測(ce)的(de)(de)(de)(de)(de)具體(ti)要(yao)(yao)(yao)求(qiu)，針(zhen)對(dui)(dui)叉(cha)(cha)指電極的(de)(de)(de)(de)(de)結(jie)構形(xing)狀進行分(fen)析說明和終的(de)(de)(de)(de)(de)結(jie)構選(xuan)擇，確定(ding)具體(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)設(she)(she)計(ji)參數根據(ju)微(wei)弱(ruo)信(xin)(xin)號(hao)檢測(ce)的(de)(de)(de)(de)(de)相關原(yuan)理，在低頻信(xin)(xin)號(hao)測(ce)量(liang)時，電阻(zu)值(zhi)越高(gao)(gao)，其(qi)相應的(de)(de)(de)(de)(de)電阻(zu)熱(re)噪(zao)聲(sheng)和閃爍(shuo)噪(zao)聲(sheng)也就越高(gao)(gao)，不(bu)利(li)于信(xin)(xin)號(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)提取(qu)和檢測(ce)[1]。所以，可(ke)以通過減少敏(min)(min)(min)感(gan)(gan)(gan)膜電阻(zu)值(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)方(fang)法，實現對(dui)(dui)氣體(ti)敏(min)(min)(min)感(gan)(gan)(gan)傳感(gan)(gan)(gan)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)噪(zao)聲(sheng)比(bi)的(de)(de)(de)(de)(de)提高(gao)(gao)，從而(er)減小(xiao)噪(zao)聲(sheng)對(dui)(dui)測(ce)量(liang)信(xin)(xin)號(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)干擾。根據(ju)電阻(zu)的(de)(de)(de)(de)(de)計(ji)算公式，影(ying)響阻(zu)值(zhi)變化的(de)(de)(de)(de)(de)因(yin)(yin)素主要(yao)(yao)(yao)有電阻(zu)率(lv)(lv)、電阻(zu)長度(du)及橫截面積(ji)等。一般(ban)情(qing)況下，氣體(ti)敏(min)(min)(min)感(gan)(gan)(gan)材料薄(bo)膜的(de)(de)(de)(de)(de)電阻(zu)率(lv)(lv)較高(gao)(gao)，因(yin)(yin)此減小(xiao)敏(min)(min)(min)感(gan)(gan)(gan)膜電阻(zu)值(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)方(fang)法是(shi)增加敏(min)(min)(min)感(gan)(gan)(gan)膜的(de)(de)(de)(de)(de)厚(hou)(hou)度(du)或(huo)(huo)者是(shi)增大敏(min)(min)(min)感(gan)(gan)(gan)膜的(de)(de)(de)(de)(de)寬長比(bi)。但是(shi)，敏(min)(min)(min)感(gan)(gan)(gan)膜的(de)(de)(de)(de)(de)厚(hou)(hou)度(du)太(tai)大會(hui)降低氣體(ti)敏(min)(min)(min)感(gan)(gan)(gan)傳感(gan)(gan)(gan)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)響應時間。因(yin)(yin)此，綜(zong)合(he)考(kao)慮到(dao)響應時間和信(xin)(xin)噪(zao)比(bi)，需要(yao)(yao)(yao)設(she)(she)計(ji)優化氣體(ti)敏(min)(min)(min)感(gan)(gan)(gan)傳感(gan)(gan)(gan)器(qi)中微(wei)電極的(de)(de)(de)(de)(de)厚(hou)(hou)度(du)和長寬比(bi)。

叉指電極真空探針臺技術參數；