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Product CenterMini真空(kong)探針臺KT-0904T是(shi)一款普通(tong)型無高溫低溫系統(tong)真空(kong)探針臺,尺寸300mmX260mm,輕便小喬(qiao),功能齊全。可應(ying)用于導體/微(wei)電(dian)(dian)子(zi),電(dian)(dian)子(zi),機電(dian)(dian),物(wu)理(li),化學(xue),材料(liao),光電(dian)(dian),納米,微(wei)機電(dian)(dian)/MEMS,生(sheng)物(wu)芯片,航空(kong)航天等科學(xue)研(yan)究領域,以及IC設計(ji)/制造(zao)/測(ce)試/封裝(zhuang)、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生(sheng)產制造(zao)領域。
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Mini真空探針臺KT-0904T 是一款普通型無高溫低溫系統真空探針臺,尺寸300mmX260mm,輕便小巧,功能齊全。可應用于導體/微電子,電子,機電,物理,化學,材料,光電,納米,微機電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學研究領域,以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。
KT-0904T 系列探(tan)(tan)(tan)針臺還有加(jia)熱型探(tan)(tan)(tan)針臺,高低溫探(tan)(tan)(tan)針臺,選擇多樣性。
真空探針臺(tai)基本參(can)數(shu):
*
操(cao)作(zuo)溫(wen)度
高(gao)溫:室(shi)溫至(zhi)400℃,
低溫:可選擇液氮達到-196℃
* 溫度可(ke)控,可(ke)控精度<1℃
* 真空度1機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
*
可配置(zhi)多達六個微操縱探(tan)針臂(bei)(波紋(wen)管(guan))
Mini真空探針臺KT-0904T 參數
真空腔體 | |
類型(xing) | 加熱型350℃ 或者(zhe)加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃ |
腔體材質 | 304不銹鋼 |
腔體內尺寸 | φ90x40mm |
腔(qiang)體上視窗尺寸(cun) | Φ42mm(選配凹視窗Φ22mm) |
腔體抽氣口(kou) | KF16 |
腔(qiang)體(ti)進氣口(kou) | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可(ke)選 |
腔體(ti)出(chu)氣口 | 公制3mm 6mm氣管接(jie)頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選(xuan) |
腔體正壓 | ≤0.05MPa |
腔(qiang)體真空度(du) | 機械泵≤5Pa (5分(fen)鐘) 分子泵≤5E-3Pa(30分鐘) |
樣品臺 | |
樣品臺材質 | 304不銹鋼 |
樣品(pin)臺尺寸 | 26X26mm |
樣品臺-視窗(chuang) 距離 | 30mm(可選凹視窗間(jian)距15mm) |
樣品臺(tai)測溫傳(chuan)感器 | A 級PT100鉑(bo)電阻(zu) |
樣品臺溫度 | 室(shi)溫到350℃(可選高低溫(wen)樣品臺(tai) 高溫(wen)350℃低溫-190℃) |
樣品(pin)臺測溫誤差 | ±0.2℃ |
樣品臺變溫(wen)速率 | 高溫10℃/min 低溫(wen)5℃/min 最大值(zhi) |
溫(wen)控儀 | |
溫度顯示 | 7寸人機(ji)界面 |
溫控(kong)類型 | 標準PID溫控 +自(zi)整(zheng)定(ding)(可選(xuan)30段編(bian)程(cheng)控溫) |
溫(wen)度分辨率(lv) | 0.1℃ |
溫控精度 | ±0.5℃ |
溫(wen)度信號輸入類型 | PT100熱電阻 (可選(xuan) K S B型熱電偶) |
溫控輸出(chu) | 直流線(xian)性電源加熱(液氮(dan)流量線(xian)性控制液氮(dan)制冷) |
輔(fu)助功能 | 溫(wen)度數據采集并導(dao)出 實時溫(wen)度曲(qu)線+歷(li)史溫度曲線(xian) |
探針 | |
電信號(hao)接頭(tou) | 配(pei)線(xian)轉接 BNC接頭 BNC三同(tong)軸接(jie)頭 SMA 接(jie)頭 香(xiang)蕉插頭 線長1.2米 |
電學性能(neng) | 絕(jue)緣(yuan)電阻 ≥4000MΩ 介(jie)質耐壓 ≤200V 電(dian)流噪(zao)聲(sheng) ≤10pA |
探針數量 | 4探針(可定(ding)做6探(tan)針(zhen)) |
探(tan)針(zhen)材質(zhi) | 鍍(du)金鎢針 |
探針(zhen)尖 | 10μm |
探針移動平臺 | |
X軸移動行程(cheng) | 12mm ±6mm |
X軸控制精(jing)度 | ≤5μm |
Y軸移動行程 | 12mm ±6mm |
Y軸控制精度 | ≤5μm |
Z軸移(yi)動行程 | 12mm ±6mm |
Z軸控制精度 | ≤5μm |
數碼顯微(wei)鏡(jing) | |
顯微鏡類別 | 物鏡放(fang)大+電子(zi)放(fang)大(da) |
顯微(wei)鏡放大(da)倍數(shu) | 100倍 |
顯微鏡工(gong)作間(jian)距 | 50-150mm |
相機分辨(bian)率 | 1080P 60幀 |
相機信(xin)號輸出 | HDMI輸出+USB輸出 |
LED可調光源 | LED光(guang)源 |
顯示屏 | 5寸 屏(ping)幕(mu)一體(ti)機 |