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產品簡介
質量流(liu)量計智能氣體(ti)配(pei)比器，可選配(pei)七星各種系列流(liu)量計，觸(chu)摸(mo)屏控制調節不同時間不同流(liu)量氣體(ti)，操(cao)控簡單，
| 品牌 | 鄭科探 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產品種類 | 其他 | 介質分類 | 氣體 |
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
質量流量計智能氣體配比器，可選配七星各種系列流(liu)(liu)量(liang)計，觸摸屏控制調節(jie)不同時間不同流(liu)(liu)量(liang)氣體，操控簡單，
CS300氣(qi)體質量流量控制(zhi)器(qi)(qi)是七星流量計(ji)專門(men)為大規模集成電路(lu)裝備設計(ji)的產(chan)品(pin)(pin)，該產(chan)品(pin)(pin)在原有CS200氣(qi)體質量流上(shang)，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制(zhi)器(qi)(qi)的基礎新的金屬(shu)表面處理工(gong)藝(yi)，產(chan)品(pin)(pin)各項技術指標均(jun)嚴格按(an)照SEM標準，支持Ⅵ型(xing)(xing)，C型(xing)(xing)GS氣(qi)路(lu)系統。
• 準確度(du)采用設定(ding)點精(jing)度(du)，產(chan)品精(jing)度(du)可達±1.0% S.P.，響(xiang)應時間(jian)最快≤ 0.5sec。
• CS300系列產(chan)品(pin)可(ke)帶有(you)壓(ya)(ya)力補償(chang)功(gong)能，對前段氣體壓(ya)(ya)力的擾(rao)動進行有(you)效的補償(chang)，減(jian)少(shao)壓(ya)(ya)力變(bian)化對瞬(shun)時流量(liang)影響，從而(er)保證產(chan)品(pin)工作的穩定性(xing)和準確性(xing)。
質量流量計智能氣體配比器KT-C4ZS資料 ;
產品(pin)型號 | KT-PCS4Z | KT-C4ZS | |||
氣(qi)體通道 | 4進1出 | 4進1出 | |||
可(ke)根(gen)據(ju)需求定制 | |||||
產品類(lei)型 | 高精度型/快速響應型/智能控制/觸摸屏控制 | ||||
可選量(liang)程 | 20sccm-30slm(氣體量程根據客戶需要可選) | ||||
產(chan)品精度 | 高(gao)精度型±1％F.S | 普通型(xing)±1％F.S | |||
重復精(jing)度 | 高精(jing)度型±0.2% F.S | 普通(tong)型(xing)±0.2% F.S | |||
線性(xing) | 高精度型(xing)±0.5% F.S. | 普通(tong)型±1% F.S. | |||
響應時間 | 高精(jing)度型≤2sec | 普通型(xing)≤4sec | |||
工(gong)作溫度范圍 | (5~45)°C | ||||
供電(dian)電(dian)源 | ~85-265VAC 50/60Hz | ||||
最大(da)功耗(hao) | 40W | ||||
進(jin)氣口壓(ya) | ≤0.6MPa | ||||
連接管道 | 316不銹鋼(gang)管(guan)道(dao) | ||||
截止閥類型 | 電磁閥 | ||||
單向(xiang)閥開(kai)啟壓力 | 0.02Mpa | ||||
壓力顯示量程 | 0-0.6Mpa | ||||
控制方式(shi) | 7寸(cun)觸摸屏智能調節 | ||||
時間設(she)定 | 0-32000分(fen)鐘(zhong) | ||||
清(qing)洗(xi)功能 | 一鍵清(qing)洗 | ||||
程序控制 | 5段可編程序(時間-流量隨意設定值) | ||||
壓力顯(xian)示(shi) | 有(you)（出氣壓(ya)(ya)力檢(jian)測且有(you)壓(ya)(ya)力上限設置過(guo)壓(ya)(ya)切斷總輸出氣路） | ||||
氣(qi)體(ti)混合罐(guan) | 有（內(nei)置不銹鋼(gang)擾流板(ban)氣體混合均(jun)勻） | ||||
氣體加熱 | 無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調） | ||||
流量(liang)累計 | 有（累計當前運行總流量） | ||||
可選進出氣口(kou)接頭形式(shi) | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭 | ||||
抗(kang)電磁干擾 | 有 | ||||
外形尺寸(cun) | 550x380x400mm | ||||
重(zhong)量 | 18KG～20KG | ||||
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