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Product Center小型高(gao)溫蒸(zheng)鍍儀,鎢舟加熱,或(huo)者坩堝加熱,溫度可達1800度,帶樣(yang)品臺旋轉功能(neng),使鍍膜(mo)更加均勻
品牌 | 鄭科探 | 產地類別 | 國產 |
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應用領域 | 綜合 |
小型高溫蒸鍍儀,鎢舟加熱,或者坩堝加熱,溫度(du)可達1800度(du),帶(dai)樣品臺旋(xuan)轉功能(neng),使鍍膜更(geng)加均勻,
軟件(jian)自動(dong)操控(kong)、高性價比(bi),非常(chang)適合(he)實驗室科研使用。
通過加熱蒸(zheng)發(fa)某(mou)種物質(zhi)使(shi)其沉積在固體(ti)表面,稱為(wei)熱蒸(zheng)發(fa)鍍(du)膜(mo),熱蒸(zheng)發(fa)鍍(du)膜(mo)技術是歷史最悠久的PVD鍍(du)膜(mo)技術之(zhi)一(yi)。熱蒸(zheng)發鍍(du)膜(mo)機一(yi)般主(zhu)要用于蒸(zheng)發Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。
★ 專業(ye)真(zhen)空蒸(zheng)發(fa)電源,數顯工(gong)作電流(liu)和電壓,恒(heng)流(liu)輸出;
★ 可定制一(yi)體化高精度刻蝕(shi)掩膜板;
★ 襯底可選擇加熱或水冷,源基距≥300mm;
★ 可調速(su)旋轉靶臺使薄膜更均勻
★ 可沉積金屬(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金屬、化合物(MoO3, LiF等)及(ji)有機物材(cai)料,可拓(tuo)展沉積單層(ceng)膜、多層(ceng)膜及(ji)混(hun)合(he)膜;
不(bu)同真空度 不(bu)同鍍膜(mo)時間鍍銅樣品圖
原樣品沒有鍍膜 115A 100秒 機(ji)械泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘 115A 120秒 分子泵抽20分鐘
真空度越高 越不易氧化 越接(jie)近金(jin)屬本色
小型高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD
控制(zhi)方(fang)式(shi) | 7寸(cun)人機界面(mian) 手動 自動模(mo)式切換控制 |
加熱方式 | 數字式(shi)功(gong)率調整器 |
鍍膜功能(neng) | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
最大功率(lv) | ≤1200W |
最大輸出電(dian)壓(ya)電(dian)流 | 電壓≤12V 電流≤120A |
真空度 | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa |
擋(dang)板類型 | 電控 |
真空腔(qiang)室(shi) | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 (最大可安裝φ50基底) |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品蒸發源(yuan)調節(jie)距離 | 70-140mm |
蒸發溫(wen)度調節 | ≤1800℃ |
支持(chi)蒸發坩堝類(lei)型 | 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 |
預留真空接(jie)口 | KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
可選配擴展 | 機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa) 數顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa) 分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa) |