類型

高溫型室溫到350℃

高低溫型 室溫到350℃  室(shi)溫(wen)到(dao)-196℃

腔體(ti)材質

304不銹鋼(gang) 6061鋁合金 可選

腔(qiang)體內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體(ti)重(zhong)量

不銹(xiu)鋼材質 約1.5KG     鋁合(he)金材質(zhi) 約0.5KG

腔(qiang)體(ti)上(shang)視窗(chuang)尺寸

Φ42mm（可選配凹視窗用(yong)于減(jian)少窗口(kou)和樣品之間距離）

腔體抽(chou)氣口(kou)

KF16法蘭（其余接(jie)口規格可(ke)轉接(jie)）

腔體(ti)真空測量口

KF16法蘭(lan)（其余(yu)接口規格可轉接）

腔體進氣口

6mm快(kuai)擰 或 6mm快插

腔體(ti)冷卻方式

腔(qiang)體水冷(leng)+上蓋氣(qi)冷

腔體水(shui)冷接口

腔(qiang)體(ti)正(zheng)壓

≤0.05MPa

腔體(ti)真空度

機械泵≤5Pa （5分鐘(zhong)）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣品臺(tai)材質

不(bu)銹鋼(gang) 銀銅合(he)金(jin) 純(chun)銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺尺(chi)寸

26x26mm

樣(yang)品(pin)臺加熱方式

電阻加熱

電阻(zu)加熱 液氮(dan)制冷

樣品(pin)臺-視窗 距離

11mm（可選配凹視(shi)窗用于減少(shao)窗口和樣品(pin)之(zhi)間距離到6mm）

樣品臺(tai)測溫傳感器

PT100型熱電(dian)阻

樣品(pin)臺溫度

室溫(wen)到400℃

室溫到400℃  室溫到-196℃

樣(yang)品臺(tai)測(ce)溫誤差

±0.5℃

樣品(pin)臺升(sheng)溫速率

高溫100℃/min  低溫(wen)7℃/min

溫控(kong)儀

溫度(du)顯示

7寸人(ren)機界面

溫控類型

標準PID溫控 +自整定

溫度分辨率(lv)

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫(wen)度信號輸入(ru)類型

PT100 （可選K  S  B型(xing)熱電偶(ou)）

溫控輸(shu)出

直流線性電源(yuan)加熱

直流線性電(dian)源加熱(re)+液氮流速控(kong)制(zhi)器

輔助功能(neng)

溫度(du)數據(ju)采(cai)集并導出 實時溫度曲線+歷史(shi)溫度曲線 可擴展真空讀數接(jie)口(kou)

溫(wen)控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

約(yue)5.6KG

探針

電信號接頭

配線轉接 BNC接頭   BNC三(san)同軸(zhou)接(jie)頭  SMA 接頭 香蕉插頭(tou) 線長1.2米(mi)

電學性能(neng)

絕(jue)緣電阻 ≥4000MΩ     介質耐壓(ya) ≤200V    電流噪(zao)聲 ≤10pA

探針數量

4探針（可擴展5探(tan)針）

探(tan)針材質(zhi)

鍍金鎢(wu)針 （其他材質(zhi)可選）

探針(zhen)尖(jian)

10μm

手(shou)動探針移動平臺

X軸(zhou)移動行程

20mm    ±10mm（需手(shou)動推(tui)動滑臺）

X軸控(kong)制精度

≥500μm

R軸移動行程

120°    ±60°（需手(shou)動旋轉探針桿）

R軸(zhou)控制精度

≥500μm

Z軸移動行程

2mm    ±1mm

Z軸(zhou)控制精度

≤50μm（需手動螺(luo)紋調節探針桿）