技術文章
Technical articles
更新時間：2022-01-26
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1100℃ 1500℃ 高溫真空探針臺溫度穩定±1℃
樣品臺26x26mm 同時可用于光學測試電學測試
光學反射透窗距樣品間距9mm
可擴展透視窗透孔2mm
電學測試4探針 外接3同軸bnc
腔體不銹鋼材質 180x90x37mm上下面水冷
該腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針頂尖處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。
當前位置：
