探頭故障現象、原(yuan)因及排除方法(fa)

1、沉(chen)積期(qi)間厚度讀數大跳變(bian)

a. 不良晶片(pian)產生   解(jie)決方案：更換晶片

b. 晶片(pian)接(jie)近其使用(yong)壽命  解決方案(an)：更換晶片

c. 晶片支(zhi)承(cheng)座表面(mian)有雜(za)物   解決方(fang)案(an)：用(yong)酒(jiu)精或細砂皮(pi)清(qing)洗支承座(zuo)

d. 來自濺射源的頻(pin)率干涉(she)   解(jie)決方案： 檢查接地，儀(yi)器遠(yuan)離濺射源

2、沉(chen)積期間晶體停振，但晶片壽命(ming)未到

a. 晶片(pian)被來自鍍膜(mo)源熔化材料小熔滴(di)撞(zhuang)擊   解決方案：鍍膜起始階段(duan)用檔板遮蔽后移開(kai)

b. 不良晶片   解決方案： 更換晶片

c. 晶片支承座(zuo)內腔表面有雜質   解決方案：清洗

3、晶(jing)體在真空中振(zhen)蕩，單暴露空氣后停振(zhen)

a.晶體接(jie)近使用壽命，暴露(lu)空氣導致薄膜氧化而引起(qi)薄膜壓力增加   解(jie)決方案(an)： 更換晶(jing)片(pian)

b. 晶片積累了(le)過(guo)多水分   解決方(fang)案：暴(bao)露空氣(qi)之前關(guan)掉探頭冷卻水