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真空(kong)探針臺測試(shi)(shi)設備 高低溫測試(shi)(shi)臺探針臂(bei)為X/Y/Z三軸移動，三個方(fang)向均可(ke)在真空(kong)環境下精密移位調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)，其(qi)中X方(fang)向調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)范圍(wei)：0－30mm；y方(fang)向調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)范圍(wei)：0－20mm；z方(fang)向調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)范圍(wei)：0－20mm；用戶(hu)可(ke)根據需(xu)(xu)要自(zi)行調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)。使用時將需(xu)(xu)檢測的器件(jian)固定在加(jia)熱臺上，再微調(diao)(diao)(diao)探針支架X/Y/Z 方(fang)向行程，通過顯微鏡觀(guan)察(cha)，使探針對準檢測點后，即可(ke)進行

該探(tan)針(zhen)臺(tai)的承片臺(tai)X/Y/Z三(san)個(ge)方向(xiang)(xiang)均(jun)可在(zai)真空環境下調節(jie)，其中X方向(xiang)(xiang)調節(jie)范圍：0－30mm；y方向(xiang)(xiang)調節(jie)高(gao)低(di)溫控制真空探(tan)針(zhen)臺(tai) * 范圍：0－13mm；z方向(xiang)(xiang)調節(jie)范圍：0－13mm；用戶可根據需要自行調節(jie)。使用時將需檢測(ce)的器件固定在(zai)加熱臺(tai)上，再(zai)微調探(tan)針(zhen)支(zhi)架(jia)X/Y/Z 方向(xiang)(xiang)行程(cheng)，通過(guo)顯微鏡觀察，使探(tan)針(zhen)對(dui)準檢測(ce)點后，即(ji)可進(jin)行檢測(ce)。

真(zhen)空測試(shi)微型探(tan)針臺 該腔體設計有進氣(qi)口(kou)和(he)抽真(zhen)空接口(kou)其真(zhen)空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真(zhen)空信(xin)(xin)號(hao)(hao)連(lian)接處使用級(ji)別真(zhen)空電(dian)極信(xin)(xin)號(hao)(hao)接頭，保證氣(qi)密(mi)性及(ji)抗干擾(rao)性能。使用時將需將待檢測的器件方在(zai)加熱臺面，探(tan)針尖處由3軸可移(yi)動探(tan)針手(shou)動調節移(yi)動至(zhi)被測試(shi)器件的引腳處，外部信(xin)(xin)號(hao)(hao)線連(lian)接測試(shi)儀器來測試(shi)電(dian)學信(xin)(xin)號(hao)(hao)。

實驗室真空加熱腔體(ti) 探針(zhen)臺主要應用于半導體(ti)行業、光電(dian)行業、集成電(dian)路以及封(feng)裝的測試。廣泛應用于復(fu)雜、高速(su)器件的精(jing)密電(dian)氣測量(liang)的研(yan)發(fa)，旨在確(que)保(bao)質量(liang)及可靠性，并縮減(jian)研(yan)發(fa)時間和器件制造(zao)工(gong)藝的成本

真空(kong)腔體(ti)氣(qi)體(ti)傳感(gan)(gan)器 加熱主要用于(yu)氣(qi)體(ti)敏(min)感(gan)(gan)材(cai)料或(huo)其他對環境敏(min)感(gan)(gan)性材(cai)料中的電(dian)化學信號測(ce)試。測(ce)試腔體(ti)可擴展模塊較多，該(gai)腔體(ti)設計有進(jin)氣(qi)口和(he)抽(chou)真空(kong)接口和(he)4-8芯(xin)信號真空(kong)電(dian)極及真空(kong)計接口，腔體(ti)上部安(an)裝有φ80石英(ying)觀察片(pian)方(fang)便觀察樣品和(he)光學用途。