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產品簡介
高(gao)(gao)低(di)溫(wen)真空探針(zhen)臺KT-Z160T-RL，真空高(gao)(gao)低(di)溫(wen)探針(zhen)臺系統，使用國(guo)際上(shang)*溫(wen)度(du)(du)控(kong)制系統和傳感器，溫(wen)度(du)(du)范圍為77.15K至673.15K（-196攝(she)氏(shi)度(du)(du)到400攝(she)氏(shi)度(du)(du)），溫(wen)度(du)(du)穩(wen)定性可達0.1K。
| 品牌 | 鄭科探 |
|---|
高低溫真空探針臺KT-Z160T-RL
高低溫探針臺系統達到≤10Pa即可進行低溫測試而無凝露或結霜。對于選用了入門級配置的用戶，可選用雙極旋片式機械泵即可達到目標真空度，從而減少設備的配置預算。對于真空度有更高要求的用戶，可選用分子泵組對系統進行抽真空。低溫探針臺系統可達10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組，以滿足測試要求。
為(wei)了減少(shao)泵(beng)組的振動，我們(men)還專門為(wei)用(yong)戶(hu)設計了隔振器，很大程度地衰減(jian)泵組工(gong)作時產生的振動，以確保系統的穩定，減(jian)少(shao)探針的漂移。
高低溫真空探針臺KT-Z160T-RL參數
| 真空(kong)腔體 | |
| 腔體材質 | 304不銹鋼 |
| 上(shang)蓋開啟 | 鉸鏈(lian)側開 |
| 加熱臺材質(zhi) | 304不銹鋼 |
| 內腔體尺寸 | φ160x90mm |
| 觀察窗尺寸 | Φ70mm |
| 加熱(re)臺尺寸 | φ60mm |
| 觀察窗熱臺間距 | 75mm |
| 加熱臺溫度 | ﹣196~350℃ |
| 加熱(re)臺溫控誤(wu)差 | ±1℃ |
| 真空度 | 機械泵≤10Pa 分(fen)子(zi)泵≤10-3Pa |
| 允許正壓(ya) | ≤0.1MPa |
| 真(zhen)空抽氣口(kou) | KF25真空法蘭 |
| 氣(qi)體進氣(qi)口 | 3mm-6mm卡套(tao)接頭(tou) |
| 電信號接頭 | SMA轉BNC X 4 |
| 電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
| 探針數量 | 4探針(zhen) |
| 探針材(cai)質 | 鎢(wu)針(zhen) |
| 探針尖 | 10μm |
| 探(tan)針移動平臺(tai) | |
| X軸移動行(xing)程 | 30mm ±15mm |
| X軸控制精度 | ≤0.01mm |
| Y軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
| Y軸控制精(jing)度 | ≤0.01mm |
| Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
| Z軸控制精(jing)度 | ≤0.01mm |
| 電子(zi)顯微鏡 | |
| 顯微鏡類別 | 物鏡 |
| 物鏡倍數 | 0.7-4.5倍 |
| 工作間距(ju) | 90mm |
| 相(xiang)機 | sony 高清 |
| 像素 | 1920※1080像(xiang)素 |
| 圖像接口 | VGA |
| LED可調光源 | 有 |
| 顯示(shi)屏 | 8寸 |
| 放大(da)倍數 | 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最(zui)小(xiao)可分辨0.08mm |
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