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產品簡介
氣(qi)敏材料真(zhen)空探針(zhen)臺主要應(ying)用(yong)于(yu)(yu)半導體行業(ye)、光電行業(ye)、集成電路以(yi)及封裝的(de)測(ce)試。廣泛應(ying)用(yong)于(yu)(yu)復雜、高速器(qi)件(jian)的(de)精密電氣(qi)測(ce)量的(de)研發(fa)，旨(zhi)在確保質量及可靠(kao)性，并(bing)縮減研發(fa)時間和器(qi)件(jian)制造工藝的(de)成本
| 品牌 | 其他品牌 |
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氣敏材料真空探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本
該氣敏材料真空探針臺的承片(pian)臺X/Y/Z三(san)個方向(xiang)均(jun)可在真(zhen)空環境下調節(jie)，其(qi)中X方(fang)向調節范圍：0－30mm；y方向調(diao)節范圍：0－13mm；z方向調節(jie)范圍：0－13mm；用戶(hu)可根據(ju)需(xu)要(yao)自行(xing)調(diao)節。使用時將需(xu)檢(jian)測的器(qi)件固定在加熱臺上，再微(wei)調(diao)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微(wei)鏡觀察，使探針對準檢(jian)測點(dian)后，即可進(jin)行檢(jian)測。
實驗腔(qiang)體 | |
腔體材(cai)質 | 304不(bu)銹鋼 |
上蓋(gai)開啟 | 鉸鏈側(ce)開 |
內腔體(ti)尺(chi)寸 | φ140x180 |
加熱臺材質 | 304不(bu)銹鋼 |
觀察窗尺(chi)寸 | φ75 |
加熱臺尺寸 | 50x50 |
加熱臺(tai)溫(wen)度(du) | 室溫-350℃可調 |
加熱臺(tai)溫控誤差 | ±1℃ |
真(zhen)空度 | 機械(xie)泵≤10Pa 分(fen)子泵≤10-3Pa |
真空(kong)抽(chou)氣(qi)口 | KF25 |
氣體進氣口(kou) | 3mm-6mm卡(ka)套接頭(tou) |
進(jin)氣閥門 | 高精密針(zhen)閥(fa) |
抽氣閥門(men) | KF25真空擋板閥(fa) |
壓力表(biao) | 機械壓力表 -0.1-0.15mpa |
信號電極 | 4個 |
探針(zhen)數量 | 4個 |
探(tan)針材質 | φ1.5鎢針 其(qi)他材質可選 |
探針移動平(ping)臺 | |
X軸移動行程 | 30mm ±15mm |
X軸(zhou)控制精度 | ≤0.1MM |
Y軸移動行程 | 13MM ±6.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.05MM |
Z軸移動行(xing)程(cheng) | 13mm ±6.5mm |
Z軸控制精度(du) | ≤0.05MM |
信(xin)號電極 | |
電極(ji)芯 | 1芯 |
電極引出接頭 | BNC母頭 |
電極引(yin)出線(xian) | 銅網信號屏蔽線 |
BNC引出接頭 | X4 |
額定(ding)電流 | ≤5A |
額定電壓(ya) | ≤220V |
電極芯直徑 | φ1mm |
接觸(chu)電阻 | ≤5MΩ |
絕緣電(dian)阻 | ≥1000 MΩ |
外殼(ke)接(jie)地 | 是(shi) |
電子顯微鏡 | |
電子顯微鏡根據客戶需要配置不同倍率 請(qing)和客服溝(gou)通 | |
做氣體傳感(gan)器的(de)客戶可以選(xuan)擇本公司的(de)多通道智(zhi)能氣體配比(bi)系(xi)統
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