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Product CenterCS系列數(shu)字式質量流量控制(zhi)器數(shu)字式質量流量控制(zhi)器.高精度型(xing)(xing),快響應型(xing)(xing),數(shu)字型(xing)(xing),低零漂(piao)及溫漂(piao)型(xing)(xing),抗電磁(ci)干(gan)擾(rao)
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相關文(wen)章(zhang)品牌 | 七星華創 | 價格區間 | 面議 |
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產品種類 | 質量式 | 介質分類 | 氣體 |
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 電子 |
CS系列數字式質量流量控制器數字式質量流量控制器.高精度型,快響應型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
CS200A 數字式氣體質量(liang)流(liu)量(liang)控制(zhi)器
產品型號:CS200-A型
產品系列:CS系列數字式質量流量控制器
產品類型:高精度型(xing),快響應型(xing),數字(zi)型(xing),低零漂及(ji)溫漂型(xing),抗(kang)電(dian)磁干擾
型號(hao) | CS200-A | |||||||||
閥類(lei)型(xing) | 常開(流(liu)量規(gui)格≤30SLM) 或常閉 | 無 | ||||||||
流量規格(N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM | |||||||||
準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(<35% F.S.) | |||||||||
線性 | ±0.5% F.S. | |||||||||
重復(fu)精(jing)度 | ±0.2% F.S. | |||||||||
響應時間 | ≤ 1sec | |||||||||
工作壓(ya)差范圍 | 0.05~0.35MPa 流量規格≤10SLM 0.1~0.35MPa 10<流量規格≤30SLM 0.2~0.45MPa 30<流量規格≤50SLM | <0.02 MPa | ||||||||
溫(wen)度系數(shu) | 零點: ≤±0.05% F.S/℃; 調節(jie)時: ≤±0.1% F.S/℃ 流量規格≤30SLM; 調節時(shi): ≤±0.2% F.S/℃ 流量規(gui)格>30SLM | |||||||||
耐(nai)壓 | 3MPa | |||||||||
漏率(lv) | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | |||||||||
密封材(cai)料 | 氟橡(xiang)膠; | |||||||||
工作環境溫度 | (5~45)℃ | |||||||||
輸入(ru)信號(hao) | 數字: RS485 或(huo) DeviceNet 或(huo) ProfiBus 模擬:(0~5)VDC 或(huo)(4~20)mA 或(huo)(0~20)mA | 無(wu) | ||||||||
輸(shu)出信號 | 數字:RS485 或(huo) DeviceNet 或(huo) ProfiBus 模擬:(0~5)VDC 或(huo)(4~20)mA 或(huo)(0~20)mA | |||||||||
零漂(piao) | 在沒有零(ling)點校正時<0.6%F.S/年 | |||||||||
電源(yuan) | ±8 ~ ±16 VDC (雙極)或 +14 ~ +28 VDC (單極) | |||||||||
表面(mian)化學成分 | 常態 | |||||||||
表面粗糙度 | 25 Ra | |||||||||
標準(zhun)接(jie)頭形式 | 雙卡套 φ6;雙卡套 1/4´´;雙卡套 3/8´´;VCR1/4´´陽接頭;雙卡套φ3; 雙卡套 1/8´´;VCO 1/4";φ6(內)x1 軟管接頭; φ5(內)x1.5 軟管接頭; φ4(內)x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm;A 型密封接頭; | |||||||||
電源接頭形式 | D型9 針陽接(jie)頭;D 型 15 針陽接(jie)頭;DeviceNet 接(jie)頭; ProfiBus 接(jie)頭;模擬接(jie)頭 | |||||||||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg |
型(xing)號 | CS200-A | |
閥類(lei)型(xing) | 常(chang)(chang)開(流量規格(ge)≤30SLM) 或常(chang)(chang)閉 | 無 |
流量規格(ge)(N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |
準確度(du) | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |
線性(xing) | ±0.5% F.S. | |
重(zhong)復(fu)精度 | ±0.2% F.S. | |
響應時間 | ≤ 1sec | |
工作壓差(cha)范圍(wei) | 0.05~0.35MPa 流量規格≤10SLM | <0.02 MPa |
溫度系數 | 零點(dian): ≤±0.05% F.S/℃; 調節時: ≤±0.1% F.S/℃ 流量(liang)規(gui)格≤30SLM; 調節時: ≤±0.2% F.S/℃ 流量規格>30SLM | |
耐壓 | 3MPa | |
漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | |
密封(feng)材料 | 氟橡膠(jiao); | |
工作(zuo)環境溫度(du) | (5~45)℃ | |
輸入信(xin)號 | 數字(zi): RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模(mo)擬:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA | 無 |
輸出信號 | 數字(zi):RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA | |
零漂 | 在沒(mei)有(you)零點校正時<0.6%F.S/年(nian) | |
電源 | ±8 ~ ±16 VDC (雙極)或 +14 ~ +28 VDC (單極) | |
表面化學成(cheng)分 | 常態(tai) | |
表面粗(cu)糙度 | 25 Ra | |
標準接頭(tou)形(xing)式 | 雙卡套 φ6;雙卡套 1/4´´;雙卡套 3/8´´;VCR1/4´´陽接頭;雙卡套φ3; | |
電源接頭形(xing)式 | D型(xing)9 針(zhen)陽(yang)接頭;D 型(xing) 15 針(zhen)陽(yang)接頭;DeviceNet 接頭; ProfiBus 接頭;模擬接頭 | |
重量 | 1 Kg | 0.8Kg |