真空低溫探針臺主(zhu)要應用于半導體行(xing)業、光(guang)電(dian)行(xing)業、集成電(dian)路以及(ji)封裝的測試(shi)。廣(guang)泛應用于復雜、高速器件的精密電(dian)氣(qi)測量(liang)的研(yan)發，旨(zhi)在確保質量(liang)及(ji)可靠性，并縮減研(yan)發時間和器件制造工(gong)藝(yi)的成本

    真空低溫探針臺的(de)承(cheng)片臺X/Y/Z三個方向(xiang)均可(ke)在真空環境(jing)下(xia)調(diao)節(jie)，其中X方向(xiang)調(diao)節(jie)范(fan)圍(wei)：0－30mm；y方向(xiang)調(diao)節(jie)范(fan)圍(wei)：0－13mm；z方向(xiang)調(diao)節(jie)范(fan)圍(wei)：0－13mm；用戶可(ke)根(gen)據需要自(zi)行(xing)調(diao)節(jie)。使(shi)用時將需檢測的(de)器件固定在加熱臺上(shang)，再(zai)微調(diao)探(tan)針支(zhi)架X/Y/Z 方向(xiang)行(xing)程(cheng)，通(tong)過顯微鏡(jing)觀察(cha)，使(shi)探(tan)針對準檢測點后(hou)，即可(ke)進(jin)行(xing)檢測。

1、總體規格

尺寸：650mmW*650mmD*1500mmH（含支架）

自重：約80Kg

2、結構與特點

（1）真空(kong)腔體：真空(kong)度優(you)于(yu)6×10-4Pa。降溫后優(you)于(yu)6×10-5Pa。留(liu)有2個用戶(hu)法蘭接(jie)口（可(ke)接(jie)入氣體或者額外(wai)的電纜）

（2）探(tan)針(zhen)控制：標配4個(ge)探(tan)針(zhen)臂。調(diao)節范圍50mm*50mm*30mm，調(diao)節精度優于10um。每個(ge)探(tan)針(zhen)臂配備(bei)一(yi)根Triax三同軸低(di)漏電(dian)線(xian)纜(lan)及探(tan)針(zhen)。樣品(pin)臺底座配備(bei)額外一(yi)根Triax三同軸低(di)漏電(dian)線(xian)纜(lan)

（3）顯(xian)微鏡模(mo)塊：連(lian)續變倍單筒顯(xian)微鏡，光學(xue)放大倍率(lv)：1.4X~9X（使(shi)用1X附加物(wu)鏡時(shi)），視頻放大倍率(lv)約700倍。可選2X附加物(wu)鏡。分辨率(lv)優于2um。全高清數字攝像(xiang)頭，帶(dai)同軸照明(ming)和環形(xing)照明(ming)，帶(dai)機械調(diao)焦(jiao)和光學(xue)調(diao)焦(jiao)

（4）變溫樣品臺(tai)：50mm直徑。變溫范(fan)圍：80K~400K。控溫穩定性優(you)于±0.02K

（5）可(ke)選配(pei)接入(ru)光(guang)(guang)纖，可(ke)將一根或幾根電學探針替換為光(guang)(guang)纖

（6）系統直流漏電低于1pA

3、含進口分子泵機組、全量程真(zhen)空規和智能溫控儀

4、設備(bei)照片(pian)（因配置不(bu)同，照片(pian)僅供(gong)參(can)考）