產品中心
Product Center
產品簡介
混(hun)合(he)氣體(ti)配比(bi)氣體(ti)混(hun)配器流量(liang)(liang)流量(liang)(liang)配比(bi)可將多種氣體(ti)安一(yi)(yi)定比(bi)例(li)均勻混(hun)合(he)后通入到管式(shi)爐(lu)中。各種氣體(ti)的流量(liang)(liang)是通過精密的質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計來控(kong)制(zhi)，流量(liang)(liang)計和混(hun)氣罐都安裝(zhuang)在一(yi)(yi)個移動柜內。此(ci)系列設備可用(yong)于搭(da)建CVD系統，也(ye)可為樣品(pin)退火提(ti)供所需的氣氛環境.
| 品牌 | 其他品牌 | 應用領域 | 電子 |
|---|
混合氣體配比氣體混配器流量流量配比主要(yao)用于氣(qi)體流(liu)量(liang)測試(shi),并按比(bi)例(li)混合氣(qi)體,為真空管式爐或手套箱營(ying)造特定要(yao)求的氣(qi)氛環境.
該(gai) 混合氣體配比氣體混配器流量流量配比可以外接3種氣體,采(cai)用質子型流量(liang)計,氣路管道采(cai)用304拋(pao)光管制作耐腐(fu)蝕性強.氣路接頭采(cai)用全不(bu)銹(xiu)鋼雙卡套(tao)快速(su)接頭,方便連(lian)接且不(bu)易泄漏.
1.半導(dao)體制(zhi)造行業(ye)中氣(qi)體流(liu)量控制(zhi)
2.各種真空鍍(du)膜設備
3.特(te)種材料表(biao)面處理
4.氣體燃燒控制
5.混和(he)配氣(qi)系(xi)統(tong)
6.泄(xie)漏探測系(xi)統(tong)
7.環境檢測與(yu)分(fen)析設備
8.分析儀器的氣體流量計量與(yu)控制
9.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需(xu)要(yao)氣體(ti)檢測和控制的場所
產品型號 | KT-C3Z |
產品類(lei)型 | 智能(neng)控(kong)制 觸摸(mo)屏控(kong)制 |
流量(liang)量(liang)程 | 2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm, 1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
流量控制方式 | 觸摸屏(ping)設(she)定流量 |
時間設定 | 0-99999 |
數據(ju)導出 | 有 |
程序控(kong)制(zhi) | 無 （可(ke)根據要求寫程序) |
壓力顯示 | 無 (可根據需求添(tian)加) |
耐壓 | 3MPa |
密封材料 | 金屬密封 Metal |
輸(shu)(shu)入輸(shu)(shu)出(chu)信號(hao) | (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA, |
電源 | ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC |
閥類型 | 常(chang)開或(huo)常(chang)閉 |
溫度系數(shu) | Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ |
零點飄移指標 | ＜0.6%F.S. per year without autozero |
電氣(qi)連接 | Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male |
工(gong)作壓(ya)差范圍(wei) | (0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm） |
漏率 | 1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He） |
標準接(jie)頭形(xing)式 | 雙卡(ka)(ka)套1/4”(滿量(liang)(liang)程≤30slm),雙卡(ka)(ka)套Φ3 (僅適(shi)用于滿量(liang)(liang)程≤5slm產品),雙卡(ka)(ka)套Φ6(僅適(shi)用于滿量(liang)(liang)程≤30slm產品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型 |
表面(mian)化學成分(fen) | CrO thickness ＞20 Angstroms |
表面(mian)粗糙度 | 20µinch |
抗電磁(ci)干擾 | CE |
重(zhong)量 | 16KG |
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