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小型濺射儀 直流濺射鍍膜儀

產品簡介

KT-Z1650PVD是一(yi)款小(xiao)型濺(jian)射(she)儀(yi) 直流濺(jian)射(she)鍍膜(mo)(mo)儀(yi)功率(lv)(lv)可控(kong)磁控(kong)濺(jian)射(she)儀(yi),儀(yi)器雖小(xiao)功能齊全,配備有電(dian)壓 電(dian)流反饋,樣品臺(tai)旋(xuan)轉,樣品高(gao)度調節,及(ji)電(dian)動(dong)擋(dang)板功能。通過定(ding)時調節預濺(jian)射(she)功率(lv)(lv)及(ji)薄膜(mo)(mo)沉積功率(lv)(lv),可對大部分金屬進行均(jun)勻物(wu)理沉積,真空腔(qiang)室(shi)為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺(tai)可旋(xuan)轉以獲(huo)得更均(jun)勻的薄膜(mo)(mo),可制備各種金屬薄膜(mo)(mo)。

產品型號:
更新時間:2024-03-27
廠商性質:生產廠家
訪問量:1423
詳細介紹在線留言
品牌鄭科探價格區間面議
產地類別國產應用領域電子

     KT-Z1650PVD是一款小型濺射儀 直流濺射鍍膜儀功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。通過定時調節預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。


小型濺射儀 直流濺射鍍膜儀技術參數

控制方式

7寸人機(ji)界面 手動 自動模式切(qie)換(huan)控制

濺射電源

直流(liu)濺射電源

鍍膜功能

0-999秒(miao)5段可(ke)變換(huan)功率及擋板位(wei)和樣品速度程序(xu)

大功率

≤1000W

大輸出電(dian)壓電(dian)流

電壓≤1000V  電流≤1A

極限真空

機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射(she)真空(kong)

≤30Pa

擋(dang)板類型

電控

真空腔室

石英(ying)+不銹鋼腔體(ti)φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉φ62  (大(da)可安裝(zhuang)φ50基(ji)底)

樣品臺(tai)轉速

8轉(zhuan)/分鐘(zhong)

樣品濺射源調節距離

40-105mm

真(zhen)空測量

皮拉尼(ni)真空計(ji)(已安(an)裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預留(liu)真空接口(kou)

KF25抽(chou)氣(qi)口    KF16放氣(qi)口   6mm卡套(tao)進氣(qi)口


針(zhen)對市場上其它型(xing)號我們做(zuo)如下改進(jin)

1 腔體(ti)擴(kuo)(kuo)充口(kou)可(ke)增加擴(kuo)(kuo)展口(kou)  大可(ke)擴(kuo)(kuo)展KF40接口(kou)方便連接分子(zi)泵 或(huo) 晶控傳(chuan)感器(qi)

2 樣品可(ke)旋轉 大(da)轉速(su)20轉每分(fen)鐘 使鍍膜樣品更均勻

3 輕旋轉機械(xie)手柄 樣(yang)品高(gao)度(du)可精(jing)細(xi)調節 樣(yang)品距離(li)靶材距離(li)可到1mm

4 電動擋板 使(shi)用人(ren)機界面程(cheng)序控制打開或者關閉時間

5 可通過人機界(jie)面手動或(huo)者使用(yong)編(bian)程自動控制預濺射(洗靶(ba)) 恒定功率輸出(chu)  變(bian)換功率輸出(chu) 定時打開擋板(ban)(時間(jian)單位 秒(miao))關(guan)閉擋板(ban) 樣品轉速  工(gong)藝可存儲  工(gong)藝名稱可改(gai) 利如 噴金20納米厚

6 腔體上蓋鉸(jiao)鏈安裝(zhuang) 更換(huan)靶材方便操作

7 此產品已申(shen)請多項技(ji)術(shu) 抄襲(xi)請慎重!!!


    目前(qian)公(gong)司已研發生產產品十多個系(xi)列幾十款(kuan)產品,產品囊(nang)括實驗(yan)電爐   CVD供氣系(xi)統(tong)   等(deng)(deng)離子(zi)清(qing)洗機(ji)   小(xiao)型離子(zi)濺(jian)射儀(yi)   小(xiao)型蒸鍍儀(yi)  石英管(guan)真(zhen)空封口   半導體(ti)檢測等(deng)(deng)。 主要適用于(yu)科研院校及工(gong)礦企(qi)業(ye)在新材(cai)料、新能源等(deng)(deng)領域物理特性及化學特性的(de)研究(jiu)(jiu),廣銷于(yu)各大院校,及材(cai)料研究(jiu)(jiu)所。

   公(gong)司(si)(si)與國內高校,科(ke)研院所有多(duo)層次的(de)(de)合(he)作(zuo)關(guan)系,建(jian)有開放實驗室(shi),相關(guan)領域(yu)的(de)(de)教授、高級工程師、博(bo)士參與公(gong)司(si)(si)產(chan)品的(de)(de)研究(jiu)和開發(fa)。我們(men)秉承公(gong)司(si)(si)的(de)(de)發(fa)展理(li)念,依靠嚴謹的(de)(de)技術研發(fa)能力,科(ke)學合(he)理(li)的(de)(de)生產(chan)工藝,精益求(qiu)精的(de)(de)制造(zao)要求(qiu),全心全意(yi)做好(hao)產(chan)品質量和服務(wu)工作(zuo),科(ke)探儀器(qi)時刻懷著一顆真誠(cheng)的(de)(de)心期待與您(nin)的(de)(de)合(he)作(zuo)。



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