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產品簡介
四探針測(ce)試臺主要應用于(yu)半導體行業(ye)、光電行業(ye)、集成電路以及(ji)封裝(zhuang)的測(ce)試。廣泛應用于(yu)復雜、高(gao)速器(qi)件(jian)的精(jing)密電氣測(ce)量的研發，旨在確保質量及(ji)可靠性，并縮減(jian)研發時間和器(qi)件(jian)制(zhi)造工藝(yi)的成本(ben)
| 品牌 | 鄭科探 |
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四探針測試臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本
該探針(zhen)臺的承(cheng)片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環(huan)境下調節(jie)，其(qi)中X方向調節(jie)范(fan)圍：0－30mm；y方向調節(jie)范(fan)圍：0－13mm；z方向調節(jie)范(fan)圍：0－13mm；用(yong)戶可根據需要自行調節(jie)。使用(yong)時(shi)將需檢(jian)測(ce)的器件(jian)固定在加(jia)熱臺上，再微調探針(zhen)支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針(zhen)對準檢(jian)測(ce)點后，即(ji)可進行檢(jian)測(ce)。
四探針(zhen)測試(shi)臺(tai)實(shi)驗腔體(ti) | |
腔(qiang)體(ti)材質 | 304不銹鋼 |
上蓋開啟 | 鉸鏈側(ce)開(kai) |
內腔體尺寸(cun) | φ140x180 |
加熱臺材(cai)質 | 304不銹鋼 |
觀察窗尺寸 | φ75 |
加(jia)熱臺尺寸 | 50x50 |
加熱臺溫度 | 室溫-350℃可(ke)調 |
加熱(re)臺溫控(kong)誤差 | ±1℃ |
真空(kong)度 | 機械(xie)泵≤10Pa 分子(zi)泵≤10-3Pa |
真空(kong)抽氣口 | KF25 |
氣體進氣口 | 3mm-6mm卡套接頭(tou) |
進(jin)氣閥門 | 高精密針(zhen)閥 |
抽氣閥門(men) | KF25真空(kong)擋板閥 |
壓力表 | 機械壓力(li)表 -0.1-0.15mpa |
信號(hao)電極 | 4個 |
探針數量 | 4個(ge) |
探(tan)針材(cai)質 | φ1.5鎢針 其他(ta)材質可選 |
探針移(yi)動(dong)平臺 | |
X軸移動行程 | 30mm ±15mm |
X軸控(kong)制精度 | ≤0.1MM |
Y軸移動行程 | 13MM ±6.5mm |
Y軸控制精(jing)度 | ≤0.05MM |
Z軸移動(dong)行程(cheng) | 13mm ±6.5mm |
Z軸控制(zhi)精度 | ≤0.05MM |
信號電極 | |
電極芯 | 1芯 |
電極引出接頭(tou) | BNC母頭 |
電極引出線 | 銅網信(xin)號屏蔽線(xian) |
BNC引出接頭 | X4 |
額定電流(liu) | ≤5A |
額(e)定電壓(ya) | ≤220V |
電(dian)極(ji)芯直徑(jing) | φ1mm |
接觸(chu)電(dian)阻 | ≤5MΩ |
絕(jue)緣(yuan)電阻 | ≥1000 MΩ |
外殼接地 | 是 |
電子顯微(wei)鏡 | |
電子顯微鏡根據(ju)客戶需要配置不(bu)同倍率 請(qing)和客服溝通 | |
做氣體(ti)傳感器的客戶可以(yi)選擇本公司(si)的多通道(dao)智(zhi)能氣體(ti)配比系(xi)統
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