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Product Center混合配比氣體流量(liang)計控(kong)制(zhi)(zhi)器屬(shu)于一種工業自動(dong)化(hua)儀表, D07系(xi)列MFC/MFM為模(mo)擬量(liang)程(cheng),具有不(bu)因溫度和壓(ya)力的波動(dong)而失準(zhun)、重復性(xing)好、自動(dong)測量(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)、工作壓(ya)力范圍寬(kuan)等特(te)點。自1979年研制(zhi)(zhi)出(chu)測量(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)氣體流量(liang)的D07-1模(mo)擬控(kong)制(zhi)(zhi)的流量(liang)測控(kong)產品,我們(men)不(bu)斷優化(hua)D07系(xi)列的性(xing)能(neng),滿足不(bu)同客戶應用(yong)需求(qiu)。產品種類50余種,涵蓋普通型(xing)(xing)(xing)(xing),大量(liang)程(cheng)型(xing)(xing)(xing)(xing),高精度型(xing)(xing)(xing)(xing),快(kuai)響應型(xing)(xing)(xing)(xing),耐壓(ya)型(xing)(xing)(xing)(xing),金屬(shu)密封型(xing)(xing)(xing)(xing)等多種類型(xing)(xing)(xing)(xing)的
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相關(guan)文章品牌 | 鄭科探 | 價格區間 | 面議 |
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產品種類 | 質量式 | 介質分類 | 氣體 |
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 電子 |
混合配比氣體流量計控制器可(ke)以(yi)應(ying)用到對各(ge)種氣體進行測(ce)量(liang)(liang)和(he)控(kong)制,除測(ce)量(liang)(liang)外還可(ke)以(yi)精密(mi)控(kong)制氣體的質量(liang)(liang)流量(liang)(liang),質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計(MFM)可(ke)以(yi)精密(mi)測(ce)量(liang)(liang)氣體的質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)。D07-19產(chan)(chan)品是七星(xing)流量(liang)(liang)計研發精度高、響(xiang)應(ying)時間快的模擬產(chan)(chan)品。
特點
• 高精度,快響應型
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 采用DB15型電插頭,標準機械接頭
• 兼容
混合配比氣體流量計控制器此設(she)備(bei)根據(ju)客(ke)戶需(xu)求搭建 可要(yao)求標準氣(qi)體 量(liang)程 進氣(qi)口(kou)和出氣(qi)口(kou) 多通道氣(qi)體混(hun)合配比 詢價店內(nei)客(ke)服報價
氣體(ti)(ti)配比器主要(yao)用于(yu)氣體(ti)(ti)流量測試,并按比例混合氣體(ti),為真(zhen)空管(guan)式爐或手(shou)套箱營造特(te)定(ding)要(yao)求的氣氛(fen)環境(jing). 控制方(fang)式(shi)采用集成化模塊(kuai)控制 功能延伸性強 根據客(ke)戶要求隨意添加
該氣(qi)體配比器可以外接(jie)3或多種氣(qi)體,采(cai)用(yong)質子型(xing)流(liu)量計,氣(qi)路管道采(cai)用(yong)316拋光管制作耐(nai)腐(fu)蝕性(xing)強.氣(qi)路接(jie)頭(tou)(tou)采(cai)用(yong)全不(bu)銹鋼雙卡套快速接(jie)頭(tou)(tou),方便連接(jie)且不(bu)易(yi)泄漏.
1.半導體制造行業(ye)中(zhong)氣體流量控制
2.各種真空鍍膜設(she)備
3.特種(zhong)材料(liao)表面處理
4.氣體燃燒控制
5.混和(he)配氣系統
6.泄(xie)漏探測系統
7.環境檢(jian)測與分析設備
8.分析儀器的氣體流量(liang)計(ji)量(liang)與控制
9.化(hua)工、石化(hua)、冶(ye)金、光纖熔(rong)煉等需要氣體檢測(ce)和(he)控制的場(chang)所
技術參數
項目 | D07-19B | D07-19BM | D07-19F | D07-19FM 型 |
流量規格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM |
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM | 0~1,2,3,5,10,20,30 SLM | |
準確度 | ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±1% F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) |
線性 | ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±0.5% F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.) |
重復精度 | ±0.2 % F.S. | ±0.2 % F.S. | ±0.2 % F.S. | ±0.2 % F.S. |
響應時間 | ≤2 sec | ≤2sec | ≤4 sec | ≤4 sec |
工作壓差范圍 | ≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid) | - | ≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid) | - |
氣壓降 | - | <0.02 MPa (2.9 psid) | - | <0.02 MPa (2.9 psid) |
大工作壓力 | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa |
耐壓 | 3 MPa (435.1 psig) | 10 MPa (1450.4 psig) | 3 MPa (435.1 psig) | 10 MPa (1450.4 psig) |
工作環境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
輸入輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 4~20 mA 或 1~5 VDC | 4~20 mA 或 1~5 VDC |
電源 | +15 V 50 mA | +15 V 50 mA | 24 VDC 100 mA | 24 VDC 100 mA |
重量 | 0.95 kg | 0.7 kg | 1.2 kg | 1 Kg |