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混合配比氣體流量計控制器

產品簡介

混合配比氣體流量(liang)計控(kong)制(zhi)(zhi)器屬(shu)于一種工業自動(dong)化(hua)儀表, D07系(xi)列MFC/MFM為模(mo)擬量(liang)程(cheng),具有不(bu)因溫度和壓(ya)力的波動(dong)而失準(zhun)、重復性(xing)好、自動(dong)測量(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)、工作壓(ya)力范圍寬(kuan)等特(te)點。自1979年研制(zhi)(zhi)出(chu)測量(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)氣體流量(liang)的D07-1模(mo)擬控(kong)制(zhi)(zhi)的流量(liang)測控(kong)產品,我們(men)不(bu)斷優化(hua)D07系(xi)列的性(xing)能(neng),滿足不(bu)同客戶應用(yong)需求(qiu)。產品種類50余種,涵蓋普通型(xing)(xing)(xing)(xing),大量(liang)程(cheng)型(xing)(xing)(xing)(xing),高精度型(xing)(xing)(xing)(xing),快(kuai)響應型(xing)(xing)(xing)(xing),耐壓(ya)型(xing)(xing)(xing)(xing),金屬(shu)密封型(xing)(xing)(xing)(xing)等多種類型(xing)(xing)(xing)(xing)的

產品型號:KT
更新時間:2024-03-29
廠商性質:生產廠家
訪問量:1323
詳(xiang)細介紹在線留言
品牌鄭科探價格區間面議
產品種類質量式介質分類氣體
產地類別國產應用領域電子

    混合配比氣體流量計控制器可(ke)以(yi)應(ying)用到對各(ge)種氣體進行測(ce)量(liang)(liang)和(he)控(kong)制,除測(ce)量(liang)(liang)外還可(ke)以(yi)精密(mi)控(kong)制氣體的質量(liang)(liang)流量(liang)(liang),質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計(MFM)可(ke)以(yi)精密(mi)測(ce)量(liang)(liang)氣體的質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)。D07-19產(chan)(chan)品是七星(xing)流量(liang)(liang)計研發精度高、響(xiang)應(ying)時間快的模擬產(chan)(chan)品。

 

特點

• 高精度,快響應型
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 采用DB15型電插頭,標準機械接頭
• 兼容

 

 

 混合配比氣體流量計控制器此設(she)備(bei)根據(ju)客(ke)戶需(xu)求搭建     可要(yao)求標準氣(qi)體  量(liang)程  進氣(qi)口(kou)和出氣(qi)口(kou)    多通道氣(qi)體混(hun)合配比    詢價店內(nei)客(ke)服報價

 

     氣體(ti)(ti)配比器主要(yao)用于(yu)氣體(ti)(ti)流量測試,并按比例混合氣體(ti),為真(zhen)空管(guan)式爐或手(shou)套箱營造特(te)定(ding)要(yao)求的氣氛(fen)環境(jing)控制方(fang)式(shi)采用集成化模塊(kuai)控制 功能延伸性強 根據客(ke)戶要求隨意添加

    該氣(qi)體配比器可以外接(jie)3或多種氣(qi)體,采(cai)用(yong)質子型(xing)流(liu)量計,氣(qi)路管道采(cai)用(yong)316拋光管制作耐(nai)腐(fu)蝕性(xing)強.氣(qi)路接(jie)頭(tou)(tou)采(cai)用(yong)全不(bu)銹鋼雙卡套快速接(jie)頭(tou)(tou),方便連接(jie)且不(bu)易(yi)泄漏.

 

1.半導體制造行業(ye)中(zhong)氣體流量控制

2.各種真空鍍膜設(she)備

3.特種(zhong)材料(liao)表面處理

4.氣體燃燒控制

5.混和(he)配氣系統

6.泄(xie)漏探測系統

7.環境檢(jian)測與分析設備

8.分析儀器的氣體流量(liang)計(ji)量(liang)與控制

9.化(hua)工、石化(hua)、冶(ye)金、光纖熔(rong)煉等需要氣體檢測(ce)和(he)控制的場(chang)所

技術參數

項目

D07-19B

D07-19BM

D07-19F

D07-19FM 型

流量規格

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

0~1,2,3,5,10,20,30 SLM

準確度

±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±1% F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

線性

±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±0.5% F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.)

重復精度

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

響應時間

≤2 sec

≤2sec

≤4 sec

≤4 sec

工作壓差范圍

≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)
>10SLM: 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)

-

≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)
>10SLM: 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)

-

氣壓降

-

<0.02 MPa (2.9 psid)

-

<0.02 MPa (2.9 psid)

大工作壓力

1 MPa

1 MPa

1 MPa

1 MPa

耐壓

3 MPa (435.1 psig)

10 MPa (1450.4 psig)

3 MPa (435.1 psig)

10 MPa (1450.4 psig)

工作環境溫度

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

輸入輸出信號

0 V ~ +5.00 V
(輸入(ru)阻抗大于100K, 輸出(chu)電(dian)流不(bu)大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(輸(shu)入阻(zu)抗(kang)大于100K, 輸(shu)出電流(liu)不大于3mA)

4~20 mA 或 1~5 VDC

4~20 mA 或 1~5 VDC

電源

+15 V  50 mA 
-15V  200 mA

+15 V  50 mA
-15 V  50 mA

24 VDC  100 mA

24 VDC  100 mA

重量

0.95 kg

0.7 kg

1.2 kg

1 Kg

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