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產品簡介
實驗室小型濺(jian)射(she)儀 鄭科探 廠家是一款小型臺式濺(jian)射(she)功(gong)率(lv)可控(kong)磁控(kong)濺(jian)射(she)儀，儀器雖小功(gong)能齊全，配備(bei)有電(dian)壓 電(dian)流反饋,樣(yang)(yang)品臺旋轉，樣(yang)(yang)品高度調節(jie)，及(ji)電(dian)動擋板(ban)功(gong)能。通(tong)過定時調節(jie)預濺(jian)射(she)功(gong)率(lv)及(ji)薄(bo)(bo)膜沉(chen)積(ji)功(gong)率(lv)，可對大部分金(jin)屬進行均勻物理沉(chen)積(ji)，真(zhen)空腔室為透明(ming)石英玻(bo)璃減少樣(yang)(yang)品污(wu)染，樣(yang)(yang)品臺可旋轉以獲(huo)得更均勻的薄(bo)(bo)膜，可制備(bei)各種金(jin)屬薄(bo)(bo)膜。
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公(gong)(gong)司與(yu)(yu)(yu)國內高校，科(ke)研(yan)院所有(you)多層(ceng)次(ci)的(de)合(he)作關系，建有(you)開放實驗室(shi)，相關領域的(de)教授、工(gong)程師、博士參與(yu)(yu)(yu)公(gong)(gong)司產品(pin)的(de)研(yan)究(jiu)和開發。我們秉(bing)承公(gong)(gong)司的(de)發展理(li)念，依(yi)靠嚴謹的(de)技(ji)術研(yan)發能(neng)力，科(ke)學(xue)合(he)理(li)的(de)生產工(gong)藝(yi)，精(jing)益求(qiu)精(jing)的(de)制造要求(qiu)，全心全意做(zuo)好產品(pin)質量和服務工(gong)作，科(ke)探儀器時(shi)刻懷著一顆真誠(cheng)的(de)心期(qi)待與(yu)(yu)(yu)您(nin)的(de)合(he)作。
控(kong)制方式 | 7寸(cun)人(ren)機界面 手動(dong) 自動(dong)模(mo)式(shi)切(qie)換控制 |
濺射電源(yuan) | 直流濺射電源 |
鍍膜(mo)功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位(wei)和(he)樣(yang)品(pin)速度程(cheng)序(xu) |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射(she)真(zhen)空(kong) | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石(shi)英(ying)+不銹(xiu)鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣(yang)品臺 | 可旋轉φ62 （可安裝φ50基(ji)底） |
樣品臺轉(zhuan)速(su) | 8轉/分(fen)鐘 |
樣品濺射源調節距離 | 40-105mm |
真空測量(liang) | 皮拉(la)尼真空計（已安(an)裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預留真空(kong)接口 | KF25抽氣(qi)口(kou) KF16放氣(qi)口(kou) 6mm卡套進氣(qi)口(kou) |
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